「overlay error」に関連した英語例文の一覧と使い方(2ページ目) - Weblio英語例文検索

An imprint apparatus includes: a detector 172 that detects a marking formed on a substrate; and a control unit CNT that makes the detector detect the marking between imprint cycles, and that calculates an overlay to obtain an overlay error that is a shift between a pattern formed on a top layer of the substrate and a new pattern formed on a layer upper than the top layer based on a detection result.例文帳に追加

基板に形成されたマークを検出する検出器１７２と、インプリントサイクルとインプリントサイクルとの間において、前記検出器にマークを検出させて、その検出結果に基づいて、基板の上の層に形成されたパターンと当該層よりも上の層に新たに形成されたパターンとのずれであるオーバーレイ誤差を求めるオーバーレイ計測を実行する制御部ＣＮＴとを備える。 - 特許庁

A reliability reference storage unit 210 stores reference data for dividing semiconductor devices into equal to or more than three reliability ranks on the basis of the magnitude of an overlay error between a first interconnect layer and a second interconnect layer disposed over the first interconnect layer.例文帳に追加

信頼性基準記憶部２１０は、第１配線層と、第１配線層の上に位置する第２配線層の重ね合わせ誤差の大きさに基づいて、半導体装置を３つ以上の信頼性ランクに分けるための基準データを記憶する。 - 特許庁

By constituting a moving path of the substrate under exposure on the back side as a mirror image of a moving path under exposure on the front side, all positioning errors specific in the moving direction are reversed compared with front side exposure under back side exposure, so that a net overlay error between a front side device and a back side device becomes zero or close to zero.例文帳に追加

この裏側の露出中の基板の移動経路を表側の露出中の移動経路の鏡像であるようにすることによって、移動方向に特有のあらゆる位置決め誤差が裏側露出で表側露出に比べて反転され、それで表側デバイスと裏側デバイスの間の正味オーバレイ誤差がゼロまたはゼロに近くなる。 - 特許庁