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oxygenizingを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The polysilazane film 4d is transformed to a silicon dioxide film by keeping the semiconductor substrate 2 to which the polysilazane film 4d is applied at steam oxidation temperature and steam-oxygenizing it.例文帳に追加
次に、ポリシラザン膜４ｄを塗布した半導体基板２を水蒸気酸化温度に保持し、水蒸気酸化を行うことでポリシラザン膜４ｄについてシリコン酸化膜に転換する。 - 特許庁
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