「shape fitting」に関連した英語例文の一覧と使い方(28ページ目) - Weblio英語例文検索

This electron beam lithography apparatus has: a radiation section 10 that radiates electron beam 54; a detector 32 that detects reflective signals obtained by scanning the electron beam 54 on marks 101 and 102; and a resolution acquisition section 35 that obtains the resolution of the electron beam 54 by fitting waveforms based on the reflective signals, by using an approximate expression defined by two shape functions that correspond to the marks 101 and 102 and an error function.例文帳に追加

電子ビーム描画装置は、電子ビーム５４を照射する照射部１０と、電子ビーム５４をマーク１０１、１０２の上で走査して得られる反射信号を検出する検出器３２と、マーク１０１、１０２に対応する２つの形状関数と１つの誤差関数によって定義された近似式を用い、反射信号に基づく波形をフィッティングして電子ビーム５４の分解能を取得する分解能取得部３５とを有する。 - 特許庁