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stmbを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The image of a reference wafer SW for calibration, on which first reference marks (FSMa, FSMb and FSMc) including first marks (FTMa, FTMb and FTMc) having plural configuration feature points and second marks (STMa, STMb and STMc) for specifying the positions of the configurational feature points in the first marks (FTMa to FTMc) are formed is photographed with an imaging device which calibrates the position detector.例文帳に追加
複数の形状特徴点を有する第1マーク(FTMa,FTMb,FTMc)と、形状特徴点それぞれの前記第1マーク内における位置を特定するための第2マーク(STMa,STMb,STMc)とを含む第1基準マーク(FSMa,FSMb,FSMc)が形成された較正用基準ウエハSWを、位置検出装置を較正する撮像装置によって撮像する。 - 特許庁
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