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superparticlesを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The electrostatic chuck member is characterized in having a vapor-phase deposition evaporated film of amorphous carbon and hydrogen solids containing superparticles of metal oxides and also containing hydrogen by 15 to 40 at% on an external surface of an electrostatic chuck member composed of an electrode layer and an electric insulating layer.例文帳に追加
電極層と電気絶縁層とからなる静電チャック部材の外表面に、金属酸化物の超微粒子を含み、水素含有量が１５〜４０ａｔ％であるアモルファ状炭素・水素固形物の気相析出蒸着膜を有する静電チャック部材。 - 特許庁
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