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weHを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
In the wafer static elimination method, electrons electrostatically charged in the wafer WEH are eliminated by irradiating the wafer WEH with soft X rays in the presence of an air current using an X-ray ionizer 1' before measuring the substrate current flowing to the wafer WEH by the electron beam irradiation, in a sample chamber in which a vacuum is produced.例文帳に追加
本発明のウェハの除電方法は、電子ビーム照射によりウェハＷＥＨに流れる基板電流を真空中の試料室内で測定する前に、Ｘ線イオナイザー１’を用いて軟Ｘ線を気流存在の条件下で、ウェハＷＥＨに向けて照射して、ウェハＷEＨに帯電している電子を除電する。 - 特許庁
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