To provide an inspection system with a scanning electron microscope for performing an inspection for the purpose of detecting a defect on a substrate with a circuit pattern of a semiconductor device, a liquid crystal, or the like formed thereon which allows the easy identification of a minute defect and a pseudo one which have been hard to identify, and an inspection method thereof. 半導体装置や液晶などの回路パターンが形成された基板上の欠陥を検出する目的で検査を行う走査電子顕微鏡を搭載した検査装置において、困難となっている微細欠陥と擬似の識別を容易に実施できる検査装置及びその検査方法を提供する。 - 特許庁
When a defective sector with data defects is detected as the result of a data read failure upon read access to a logic disk 12, a data defect registering part 113 causes defect information that indicates the data defects in the defective sector to be recorded in the defective information area of an alternative sector to which the defective sector is allocated. データ欠損登録部113は、論理ディスク12へのリードアクセス時のデータ読み出し失敗によりデータ欠損のある不良セクタが検出された場合、当該不良セクタに関し、当該不良セクタが割り当てられる代替セクタの欠損情報領域に“データ欠損あり”を示す欠損情報を記録する。 - 特許庁
When a defect 13 is detected by applying various types of image processing to an image of a surface of the sheet like product 1 picked up by an image pickup means 12, a marking means 14 applies marking scratches 15 parallel to a conveying direction 11a on both sides in a width direction of a defect position. 撮像手段12が撮像するシート状製品11の表面の画像に対して各種の画像処理を施すなどによって、欠陥13が検出されると、マーキング手段14は、欠陥位置を、幅方向の両側から挟むように、搬送方向11aに平行なマーキング用の傷15をつける。 - 特許庁
The bonding defect is eliminated by means of a laser beam directed onto each zone having the bonding defect in order to induce a localized melting of the protective coating and the underlying substrate and enable a sound bond, at the level of the zone, between the protective coating and the substrate after stopping the laser beam. 接着不良は、保護コーティングと下にある基材との局所的な溶融を引き起こし、レーザビームの停止後に保護コーティングと基材との間の上記ゾーンの高さにおける適切な接着を可能とするために、接着不良を有する各ゾーン上に向けられたレーザビームを用いて除去される。 - 特許庁
That is, a micro crystal defect existing in the surface layer part of the silicon wafer is actualized to be counted, by etching the silicon wafer surface selectively after forming the nitride film on the silicon wafer surface, in this method of inspecting the crystal defect in the surface layer part of the silicon wafer of the present invention. すなわち、本発明は、検査対象シリコンウェハ表面に窒化膜を形成した後、該シリコンウェハ表面を選択エッチングすることによりシリコンウェハ表層部に存在する微小な結晶欠陥を顕在化させて計数することを特徴とするシリコンウェハ表層部結晶欠陥検査方法である。 - 特許庁
Since abnormal yield can be found in the early stage and the factor of defect can be separated between a preceding step and a following step by conducting leak current test or function test of a semiconductor device, time loss incident to investigation of the cause of defect can be reduced and productivity can be enhanced. この構成によれば、インライン検査において、半導体装置のリーク電流検査または、機能検査をすることで、歩留異常を早期に発見でき、前工程と後工程との不良要因を分離することができ、これらにより不良原因究明に伴う時間ロスを低減できるため生産性を向上することができる。 - 特許庁
A defect correction circuit 114 carrys out correction processing of a defective pixel on the basis of an instruction from a pixel detection circuit 113 and carrys out replacement processing of a pixel signal to an optional pixel designated from an operation section on the basis of pixel designation information set to the defect correction circuit 114 via a microcomputer 117. 欠陥補正回路114は、画素検出回路113からの指示に基づいて欠陥画素の補正処理を行うとともに、マイクロコンピュータ117を介して欠陥補正回路114に設定された画素の指定情報に基づいて、操作部から指定された任意の画素に対して画素信号の置換処理を行う。 - 特許庁
To use an existing reproduction system for detecting an error by using the reflected light of a recorded light reflected on a recording surface when optical information is recorded in the recording surface of an optical disk, and to determine whether the defect on the surface of the optical disk is a defect or not to cause the recording mistake of the optical information in one RUB. 光ディスクの記録面に光情報を記録する時に記録面で反射された記録光の反射光を用いることでエラー検出に既存の再生系を利用可能にし、光ディスクの表面に付けられた欠陥が1RUB内で光情報の記録ミスを生じさせる欠陥か否かを判定する。 - 特許庁
To provide an optical film in which there is a little film defect resulting from thermal deterioration at the time of molding processing, and which has outstanding transparency in view of subjects, such as a film defect in a prolonged production, contamination of a mold or a forming roll, deterioration of productivity, and decomposition of a resin in a manufacturing process. 本発明は、長時間の生産におけるフィルム欠陥、金型や成形ロールの汚染、生産性の低下、製造過程で樹脂の分解等の課題に鑑みてなされたものであって、成型加工時の熱劣化に起因するフィルム欠陥が少なく、優れた透明性を有する光学用フィルムを提供する事を目的とする。 - 特許庁
The pulse (ultrasonic wave) is emitted toward a direction of concrete 8 filled in an under face of a base plate 5, the pulse reflected by the concrete 8 is received again by a probe, a defect part such as a void is thereby measured, and the concrete 8 is replenished to fill the void when the defect part such as the void is measured. ベースプレート5の下面に充填されたコンクリート8の方向にパルス(超音波)を発信し、コンクリート8で反射されたパルスを再び探触子で受信することによって空隙などの欠陥部を測定することができ、空隙などの欠陥部が測定された場合には、コンクリート8を補充して空隙を埋めることができる。 - 特許庁
To obtain a transfer device of an image forming device capable of surely preventing wrapping around of transfer paper from a photoreceptor, a transfer defect and a peeling defect of the transfer paper from a transfer belt by setting guidelines when determining positional relations and material quality in actually designing the transfer device. 本発明の目的は、実際に転写装置を設計する場合の位置関係および材質を決める際の指針を設定して感光体からの転写紙の巻きつきや転写不良および転写ベルトからの転写紙の分離不良を確実に防止することのできる画像形成装置の転写装置を得ることにある。 - 特許庁
This signal processing apparatus for processing the output signals of the image pickup provided with the optical black region is provided with an OB defect correcting section for correcting defects of an OB signal in the optical black region, and a signal corrector for correcting output signals of the image pickup using the defect-corrected OB signal as a reference. 本発明は、オプチカルブラック領域を備えた撮像部の出力信号を処理する信号処理装置であって、オプチカルブラック領域のOB信号を欠陥補正するOB欠陥補正部と、欠陥補正済みのOB信号を基準レベルに撮像部の出力信号を補正する信号補正部とを備える。 - 特許庁
To provide a crystal defect inspection method and a crystal defect inspection apparatus capable of detecting the positions of dislocation and lamination defects precisely and speedily with high sensitivity, when inspecting the in-plane distribution of dislocation and lamination defects existing in the epitaxial film of a silicon carbide single-crystal wafer for manufacturing a semiconductor element by an electroluminescence method. エレクトロルミネッセンス法により半導体素子製造用の炭化珪素単結晶ウェハのエピタキシャル膜に存在する転位や積層欠陥の面内分布を検査する際に、転位や積層欠陥の位置を高感度かつ高精度で、さらに高速で検出可能な結晶欠陥検査方法および装置を提供する。 - 特許庁
Also by the structure that the perfect Cr shading part is the Cr recessing type, the dicing mark part is the Cr recessing type and the pattern part is the HT pattern, the resist shape on the wafer after the photomask pattern exposure is improved and defect detection sensitivity in the photomask defect inspection can be sufficiently obtained too. 完全Cr遮光部はCr後退型、ダイシングマーク部はCr後退型、パターン部はHTパターンという構造を有することによっても、同様にフォトマスクパターン露光後のウェーハ上のレジスト形状を良好にし、かつフォトマスク欠陥検査時における欠陥検出感度を十分に得ることができる。 - 特許庁
This mask correcting device corrects the defect by irradiating the mask with a particle beam and can correct the mask without leaving any uncorrected part nor damaging a transparent substrate by irradiating the mask with the particle beam according to the shape of the defect. 本発明のマスク修正装置によれば、マスクに粒子ビームを照射することにより欠陥を修正するマスク修正装置であって、該欠陥の形状に基づいて該粒子ビームを照射することにより、修正の残り及び透明基板へ損傷を発生させることなくマスクを修正することができる。 - 特許庁
A plurality of review data are related to one inspection data, and a plurality of defect data are related to one review data so that the data are displayed on a review data display device 104 by storing referential relations between wafer data and between the defect data and the review data in link data areas 110 and 113. ウェハデータ間の参照関係および欠陥データとレビューデータ間の参照関係をリンクデータ領域110および113に記憶することで、1つの検査データに複数のレビューデータを関連付けるとともに、1つのレビューデータに複数の欠陥データを関連付け、レビューデータ表示装置104によって表示可能とする。 - 特許庁
The test piece used for the calibration of the seam defect inspection machine is produced by obtaining the reflection properties to illumination light in the upper end of the seam in the seam defect part, and forming a flat reflection face part on the optional part at the upper part of the seam in the seam part on the basis of the reflection properties. このような巻締め不良検査機の較正に用いる較正用試験片は、巻締め不良部位における巻締め上端の照明光に対する反射特性を求め、その反射特性に基づいて扁平な反射面部を巻締め部の巻締め上端の任意部位に形成することで作成される。 - 特許庁
To provide an inspection device for a display panel and the like, which inspects a defect by once imaging without generating halation and insufficient sensitivity, when defect-inspecting an inspection pattern with a gradation displayed by stepwise change patterns in every divided screen in the display panel of screen division drive. 画面分割駆動の表示パネルにおいて分割画面毎に階調が段階的変化パターンにて表示される検査パターンを撮像装置にて撮像して欠陥検査する際、ハレーション及び感度不足を生じることなく一度の撮像で検査を行い得る表示パネルの検査装置等を提供する。 - 特許庁
When receiving the repeatedly broadcast contents with a broadcast reception unit 12 and recording the contents in a storage unit 13, an application control unit 17 decides the recording defect part of the contents recorded in the storage unit 13, and interpolates the recording defect part using the corresponding part of a successive identical contents. 放送受信部12により繰り返し放送されるコンテンツを受信し、上記コンテンツを記憶部13に記録する際、アプリ制御部17により記憶部13に記録されたコンテンツの記録不良箇所を判定し、その記録不良箇所を後続する同一のコンテンツにおける対応部分を用いて補間する。 - 特許庁
This device is equipped with a control device 9 for measuring and storing beforehand the transmitted X-ray quantity by which the appearance defect including a crease or a flaw generated on a new bottle can vessel 2, comparing the stored transmitted X-ray quantity with the transmitted X-ray quantity measured actually, and inspecting the appearance defect based on the comparison result. ニューボトル缶容器2に発生したしわやキズを含む外観不良が想定される透過X線量を予め計測し記憶し、該記憶された透過X線量と実際に計測した透過X線量とを比較し、該比較された結果に基き前記外観不良を検査する制御装置9を備える。 - 特許庁
A principal wiring part separator 1, a wiring central part separator 2, and a wiring end part separator 3 are respectively arranged to a principal wiring part, a wiring central part, and a wiring end part of a test pattern and these separators 1, 2 and 3 loaded to the test pattern are defined as indices for confirming coordinate locations of a defect at the time of observing the defect. テストパターンの基幹配線部、配線中央部および配線端部にそれぞれ基幹配線部セパレータ1、配線中央部セパレータ2および配線端部セパレータ3を配置し、テストパターンに搭載したこれら各種セパレータ1,2および3を、欠陥観察の際に欠陥の座標位置を確認する指標とする。 - 特許庁
Time-series data of a damage conductance are generated from time-series data of short-term moving average data selected when a simulated defect signal is inputted and other moving average data, and the average number of optimum data of the moving average data used as a reference value is selected in each measuring section from the SN ratio between a signal component of the simulated defect and a noise. 模擬欠陥信号が入力したときに選択した短期移動平均データと他の移動平均データの時系列データから損傷コンダクタンスの時系列データを作成し、模擬欠陥の信号成分とノイズとのSN比から基準値となる移動平均データの最適データ平均個数を計測区間毎に選択する。 - 特許庁
When an optical disk 1 which serves as the information recording medium is inserted, a control unit having a CPU controller 11 as the main component judges whether the optical disk 1 needs defect detection depending on whether defect detection (verification) of the optical disk 1 has been finished and, if the verification has not been finished, the whole surface of the optical disk 1 is formatted and verified. 情報記録媒体である光ディスク1が挿着されたとき、CPUコントローラ11を中心とする制御部によって、その光ディスク1が欠陥検出(ベリファイ)済みか否かによって欠陥検出の要否を判定し、ベリファイ済みでなければ光ディスク1の全面をフォーマットした後ベリファイする。 - 特許庁
(B) Cases where latent defects are found in a specific good purchased As described in (A) above, if a good offered for exhibition is an unspecified good and replacements for such good are easily available in the market, a seller is liable to deliver defect-free goods complying with the description and a buyer may claim for the delivery of defect-free goods.
ⅱ)購入した特定の物に隠れた欠陥があった場合前記ⅰ)のように、出品物が容易に代替品を市場で調達できる不特定物の場合には、売主は表示に従った欠陥のない商品の引渡義務があり、買主は欠陥のない商品の引渡しを請求できる。 - 経済産業省
In such case, the buyer may claim for the termination of a contract (or for compensation) if the buyer cannot perform the purpose of the sales contract due to a defect in the subject item, for example, where, the buyer was not aware of such defect upon conclusion of the sales contract (hereinafter referred to as "liability for defects" under Article 570 of the Civil Code.
この場合、買主は、目的物の欠陥(瑕疵)により売買契約の目的が達せられない場合において、売買締結時に瑕疵について買主が知らなかったのであれば、契約解除(や損害賠償)の請求ができる(これを法律上「瑕疵担保責任」という(民法第570条))。 - 経済産業省
If a defective program is delivered to a user in exchange for payment, the Vendor is responsible for the defect. Under the Civil Code, the Vendor will be either claimed for (A) defect warranty liability (Article 570[Sales Contract]or Article 634[Work Contract]of the Civil Code); or (B) non-performance of the main obligation (Article 415 of the Civil Code).
ユーザーから対価を受け取りながら、瑕疵のあるプログラムを提供した場合は、その責任はベンダーに帰することとなり、民法上の責任としては、ア)瑕疵担保責任(民法第570条(売買の場合)、第634条(請負の場合))又はイ)債務不履行責任(同法第415条)のいずれかが問われることになる。 - 経済産業省
The retry determining section 11 executes: determining whether the reproducing position is a defect part or not and detecting the defect part based on a signal of a signal processing section 6, measuring the time in which defects are successively detected when the defect is detected, and determining whether to perform re-reading based on the measured time measuring and a threshold stored in the storage. リトライ判断部11が実行する処理には、信号処理部6からの信号に基づいて、再生位置が欠陥部であるか否かを判断して前記欠陥部の検知を行う欠陥部検知処理と、前記欠陥部が検知された場合に、前記欠陥部が連続して検知される時間を計測する時間計測処理と、前記時間計測結果と、前記記憶部に記憶される閾値と、に基づいて再読み出しを行うか否かを判断するリトライ判断処理と、が含まれる。 - 特許庁
A high contrast defect image is obtained by the dark field illumination, while the defect is observed without relating to the defect direction by having scanning images in different two directions of the wafer. ラインセンサを撮像素子として備える撮像手段と、暗視野照明となるようにウエーハ裏面の撮像部位を照明する照明手段と、前記撮像手段および前記照明手段とウエーハとの間を一定方向に相対移動させる移動手段と、ウエーハの略円形の中心を回転中心として回転させるウエーハ回転手段とから成り、暗視野照明によりコントラスト高い欠陥画像が得られるとともに、ウエーハの異なる2方向のスキャン画像を得ることにより欠陥の方向に関係なく欠陥を観測できる。 - 特許庁
To provide an inspection device that determines a defect of a semiconductor chip formed on a semiconductor wafer with high sensitivity up to the most peripheral part of a memory mat portion, and to provide an inspection method thereof. 半導体ウェーハに形成された半導体チップのメモリマット部の最周辺部まで高感度に欠陥判定できる検査装置およびその検査方法を提供する。 - 特許庁
Consequently, it is simply required to confirm the fact that a defect is not generated in the nominal image under a state where both correction processing A and correction processing B are performed. よって、補正処理Aと補正処理Bの双方を実施した状態のノミナル画像にディフェクトが発生していないことだけを事前に確認しておけば良い。 - 特許庁
To provide a light weight cellulose fiber reinforced molding capable of giving a thick molded product without causing molding defect, and to provide a method for efficiently producing the molding. 成形不良を起こすことなしに厚肉の成形品を得ることのできる軽量のセルロース繊維強化成形体とそれを効率的に製造する方法を提供する。 - 特許庁
To precisely detect a small internal defect compared with a prior art, without being affected by the deflection of a steel sheet. 鋼板の撓みに影響されることなく、従来よりも小さい内部欠陥まで精度良く検出することができる鋼板の内部欠陥検出装置を提供する。 - 特許庁
As a result, any stress caused by the difference of the growth rate can be reduced, and the occurrence of crystal defect due to the stress can be reduced. この結果、成長速度の違いによって発生する応力を抑制することができ、この応力に起因する結晶欠陥の発生を抑制することができる。 - 特許庁
To provide an organic light-emitting device in which there is no defect, in which a moisture prevention layer having a water repellent effect is provided and invasion of moisture and oxygen is prevented to have a long life enabled. 欠陥が無く、さらに撥水効果を持つ防湿層を有し、水分や酸素の浸入を防止して長寿命化が可能な有機発光装置を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor device in which the bonding defect of a semiconductor device comprising a plurality of power-supply terminals and grounding terminals can be detected, and to provide a detecting method for its open. 複数の電源端子及びグランド端子を有する半導体デバイスのボンディング不良を検出できる半導体デバイス及びそのオープン検出方法を提供する。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition which has a large depth of focus and ensures small LWR and MEEF, excellent pattern collapse resistance and excellent development defect control property. 焦点深度が広く、LWR及びMEEFが小さく、パターン倒れ特性に優れ、かつ、現像欠陥性能にも優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a flat display substrate for easily and quickly repairing a defect and a lack of a bulkhead regardless the size of a lacked part thereof. 本発明は、欠如部分の大きさに関わらず、隔壁欠如欠陥を、簡単、迅速に修復するフラットパネルディスプレイの製造方法を提供せんとするものである。 - 特許庁
To provide a fan coupling device to eliminate pressure failure due to existence of an inner defect of a nest, a blowhole, etc., not to require a pressure test, not to cause pressure leakage and excellent in durability. 巣やブローホール等の内部欠陥の存在による耐圧不良をなくし、耐圧試験を必要とせず、圧漏れがなくかつ耐久性に優れたファン・カップリング装置の提供。 - 特許庁
To provide an inflator generating a selective pressure of an air bag inflator with no dangerous structural defect of a gas generator, by simplified design, a low cost of material, and a low cost of manufacture. 簡単な設計と低い材料費と製造費によって、ガス発生器の危険な構造的欠陥がない、選択的エアバッグインフレータ加圧を発生せしめるインフレータの提供。 - 特許庁
Quadrangular pyramidal-shape recesses 2 being similar to the crystal defect and having a different size, are arranged and formed by anisotropically etching on an Si wafer 1 having Miller indices (110). 面指数が(110)であるSiウエハ1に結晶欠陥に近似し大きさを異にした四角錐形凹所2が異方性エッチングで配列形成されている。 - 特許庁
To obtain an ink jet recorder which can record a high quality image having no defect of image quality, e.g. blur, strike-through or beading, caused by excess ejection of ink drop. インク滴の打ち込み過多に起因する滲み、裏抜け、ビーディング等の画質欠陥のない高品位な画像を記録することができるインクジェット記録装置を得る。 - 特許庁
To solve the following problem: since it is difficult to find a bonding defect of a semiconductor device bonded in a flip-chip manner, even a defective product continues to be assembled. フリップチップ方式でボンディングされた半導体デバイスは、接合不良を発見することが困難であるので、不良の製品についても組み立て作業が続行されてしまう。 - 特許庁
To dissolve such problem as to develop the defect at the discharging and exhausting a formed product when the formed products having the difference of level are continuously formed by using a rotary type powder compressive forming machine. 回転式粉末圧縮成形機を用いて段差を有する成形品を連続的に成形する際、成形品を払い出し、排出する際に欠損が生じやすい。 - 特許庁
To increase adhesive strength of an inkjet head, and to surely prevent a defect from occurring in a sealant interposed between a head unit and a cover plate. インクジェットヘッドの接着強度を向上させるとともに、ヘッドユニットとカバープレートとの間に介挿されるシール剤に欠陥を生じてしまうこと確実に防止する。 - 特許庁
To provide a TFT substrate capable of suppressing alignment treatment unevenness caused by level difference by a wiring line, an electrode and the like, reducing generation of an alignment defect and shortening charging time. 配線や電極等による段差に起因する配向処理むらを抑制し、配向不良の発生を低減でき、充電時間を短くできるTFT基板の提供。 - 特許庁
As a result, generated defect information can be effectively rearranged by performing quick reinitialization without certifying a disk, thereby the performance of a drive system can be improved. これにより、ディスクを検定せず、速い再初期化を行うことによって、発生した欠陥情報を効果的に整理できるので、ドライブシステムの動作を向上させることができる。 - 特許庁
To provide a defect detection method capable of detecting defects with high accuracy, without having to require time or effort in setting filters, even when an object to be inspected is a complex structural surface. 複雑な構造面を検査対象とする場合であっても、フィルタ設定に手間が掛からず、欠陥を高精度に検出可能な欠陥検出方法の提供。 - 特許庁
To provide a low cost tape carrier package semiconductor device and a production method therefor, with which an operation defect caused by contacting of the terminal part of a semiconductor device, and a wiring pattern is prevented. 半導体素子の端部と配線パターンとの接触による動作不良が防止された低コストのテープキャリアパッケージ半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide the degree of condition coincidence between information on plural partial conditions and an applied input event and to interpolate a defect value in the feature variable of the input event. 複数の部分状況に関する情報と与えられた入力イベントとの状況一致度を得るとともに、入力イベントの特徴量の欠損値を補間すること。 - 特許庁
To estimate a responsible process with sufficient precision by simple processing to present an improvement scheme when a quality defect occurs in a product to be produced through processing in a plurality of processes. 複数工程での処理を経て生産される製品に品質欠陥が発生したときに、簡潔な処理で精度良く原因工程を推定し、改善案を提示する。 - 特許庁