CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERN BY USING THE SAME 化学増幅型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
This method for pattern formation comprises the steps of forming a film of a fluophor composition on a film of a resin composition for filters, exposing the film side of the resin composition to light using an exposure mask followed by carrying out a development operation, and thereby simultaneously forming a filter pattern and a fluophor pattern. フィルタ用樹脂組成物の膜に蛍光体組成物の膜を形成し、露光マスクを用いてフィルタ用樹脂組成物の膜側から露光し現像して、フィルタパターンと蛍光体パターンを同時に形成する。 - 特許庁
ACTIVE ENERGY RAY CURABLE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN 活性エネルギー線硬化型樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE POLYMER COMPOSITION, PRODUCTION OF RELIEF PATTERN AND ELECTRONIC PARTS 感光性重合体組成物、レリーフパターンの製造法及び電子部品 - 特許庁
RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, AND POLYMER 感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法及び重合体 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE POLYMER COMPOSITION, METHOD FOR MANUFACTURING RELIEF PATTERN, AND ELECTRONIC PARTS 感光性重合体組成物、レリーフパターンの製造法及び電子部品 - 特許庁