PHOTOSENSITIVE POLYMER COMPOSITION, METHOD FOR PRODUCING PATTERN AND ELECTRONIC PARTS 感光性重合体組成物及びパターンの製造方法並びに電子部品 - 特許庁
To provide a resist composition which suppresses the dimensional changes in a resist pattern due to the effect of change in passage of time, and to provide a resist pattern forming method using the resist composition. 経時の影響によるレジストパターンの寸法変動が抑制されたレジスト組成物、および該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁
RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME 感放射線性樹脂組成物並びにこれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION FOR FABRICATING LCD AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN LCD製造用ポジ型ホトレジスト組成物およびレジストパターンの形成方法 - 特許庁
RESIST PROTECTIVE FILM COMPOSITION FOR IMMERSION LITHOGRAPHY, AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN 液浸露光用レジスト保護膜組成物およびレジストパターンの形成方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE FILM AND PERMANENT PATTERN FORMING METHOD 感光性組成物及び感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法 - 特許庁