ETCHING OF NANO-IMPRINT TEMPLATE USING ETCHING REACTOR エッチングリアクタを用いたナノ−インプリントテンプレートのエッチング - 特許庁
ETCHING METHOD FOR SILVER ALLOY FILM, AND ETCHING SOLUTION 銀合金膜のエッチング方法およびエッチング溶液 - 特許庁
REACTIVE ION ETCHING DEVICE, AND METHOD OF ETCHING SUBSTRATE 反応性イオンエッチング装置と基板のエッチング方法 - 特許庁
An etching mask stack is formed on an etching layer. エッチングマスクスタックが、エッチング層の上に形成される。 - 特許庁
ETCHING METHOD AND ETCHING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER 半導体ウェーハのエッチング方法及びエッチング装置 - 特許庁
METHOD OF ETCHING INORGANIC MATERIAL 無機物のエッチング方法 - 特許庁
To provide a dry etching method for etching an InP substrate by means of dry etching at a low temperature and a high speed. 低温でInP基板をドライエッチング法により高速でエッチングする。 - 特許庁
ETCHING METHOD FOR MULTILAYER FILM 多層膜のエッチング方法 - 特許庁
REACTIVE ION ETCHING APPARATUS 反応性イオンエッチング装置 - 特許庁
METHOD OF ETCHING OXIDE FILM 酸化膜のエッチング方法 - 特許庁
METHOD OF ETCHING Au FILM Au膜のエッチング方法 - 特許庁
METHOD OF DRY-ETCHING SUBSTRATE 基板のドライエッチング方法 - 特許庁
To provide an etching solution excellent in selectively etching a compound semiconductor film, an etching method using the etching solution, and a method for recovering iodine from the etching waste solution of the etching solution. 選択性に優れた化合物半導体膜のエッチング液とそれを用いたエッチング方法、及びそのエッチング廃液のヨウ素の回収方法を提供する。 - 特許庁
Acid etching is carried out following to alkaline etching in the etching process while setting a larger etching margin for the alkaline etching than for the acid etching thus obtaining an improved chemically etched wafer. 改良ケミカルエッチウェーハ:エッチング工程において、アルカリエッチングのあと酸エッチングを行い、その際、アルカリエッチングのエッチング代を酸エッチングのエッチング代よりも大きくしたウェーハ。 - 特許庁
METAL SELECTIVE ETCHING SOLUTION 金属選択性エッチング液 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING ETCHING SOLUTION エッチング液の製造方法 - 特許庁
METHOD OF ETCHING SILICON WAFER シリコンウェーハのエッチング方法 - 特許庁