TREATING METHOD OF ETCHING WASTE LIQUID エッチング廃液の処理方法 - 特許庁
After etching, the wafer is annealed. エッチング後、ウェハはアニールされる。 - 特許庁
DRY ETCHING EXHAUST GAS TREATMENT APPARATUS ドライエッチング排ガス処理装置 - 特許庁
METHOD OF DRY-ETCHING ORGANIC FILM 有機膜のドライエッチング方法 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR DRY ETCHING ドライエッチング方法及び装置 - 特許庁
DRY-ETCHING METHOD AND APPARATUS ドライエッチング方法および装置 - 特許庁
CONTROL METHOD FOR ETCHING DEPTH 食刻深度の制御方法 - 特許庁
METHOD FOR ETCHING CRYSTAL LENS 水晶体のエッチング加工法 - 特許庁
PLASMA ETCHING SYSTEM AND METHOD プラズマエッチング装置及び方法 - 特許庁
ETCHANT AND ETCHING METHOD エッチング液およびエッチング方法 - 特許庁
DRY ETCHING METHOD OF SEMICONDUCTOR 半導体のドライエッチング方法 - 特許庁
ETCHING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER 半導体ウエハのエッチング装置 - 特許庁
ETCHING TREATMENT AND DEVICE エッチング処理方法及び装置 - 特許庁
METHOD FOR ETCHING MAGNETIC MATERIAL 磁性材料のエッチング方法 - 特許庁
To a plasma etching trial method which can obtain etching parameters with a less-fluctuated etching rate. エッチング速度の変動が少ないエッチングパラメータが得られるプラズマエッチングの試行方法を提供する。 - 特許庁
To provide an etching apparatus which stabilizes etching amount thereby etching a surface to be processed with good reproducibility. エッチング量を安定させ、被処理面を再現性よくエッチングできる、エッチング装置を提供する。 - 特許庁
To provide an etching method and an etching apparatus, capable of uniformly etching a wafer. より均一にウエハをエッチングすることができるエッチング方法、及び、エッチング装置を提供する。 - 特許庁
To provide an etching technique high in an etching factor even in high speed etching at a high temperature. 高温における高速エッチングにおいてもエッチングファクターの高いエッチング技術を提供する。 - 特許庁
Dot deformation by etching is prevented by elimination of etching or laser marking work after etching. エッチングの省略、又はエッチング後のレーザマーキング加工により、エッチングによるドット変形が防止される。 - 特許庁
As a result, it becomes possible to change directivity of the etching (between isotropic etching and anisotropic etching). これにより、エッチングの指向性(等方的か異方的か)を変化させることが可能となる。 - 特許庁
To provide an etching method capable of performing etching at a high etching rate while avoiding notching. ノッチングを回避するとともに、高エッチングレートでのエッチングが可能なエッチング方法を提供する。 - 特許庁
To enable performing etching of an etching material hard to etch by using an ECR plasma etching apparatus. ECRプラズマエッチング装置を使用して難エッチング材料のエッチングを行えるようにする。 - 特許庁
ETCHING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, ETCHING METHOD USING THE ETCHING DEVICE AND TREATED OBJECT エッチング装置及びその製造方法並びに該装置を用いたエッチング方法及び被処理物 - 特許庁
SHEET-TYPE ETCHING EQUIPMENT OF WAFER ウェーハの枚葉式エッチング装置 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR DRY ETCHING ドライエッチング装置および方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR DRY ETCHING ドライエッチング方法および装置 - 特許庁
ETCHING METHOD AND DEVICE エッチング方法及びエッチング装置 - 特許庁
CAUSTIC REDUCTION ACCELERATOR FOR ETCHING POLYESTER FIBER AND METHOD FOR ETCHING ポリエステル繊維抜蝕加工用減量促進剤及び抜蝕加工方法 - 特許庁
ETCHING METHOD OF GLASS PANEL OR THE LIKE ガラスパネル等のエッチング方法 - 特許庁
SINGLE-WAFER ETCHING DEVICE FOR WAFER ウェーハの枚葉式エッチング装置 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MATERIAL FOR ETCHING, AND MATERIAL FOR ETCHING エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 - 特許庁
ETCHING SIMULATION DEVICE, ETCHING SIMULATION METHOD, PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM エッチングシミュレーション装置、エッチングシミュレーション方法、プログラム、記憶媒体 - 特許庁
The etching amount is controlled depending on the number of etching times under a condition that the etching amount is decided independently of the etching time. エッチング時間に依存することなくエッチング量が定まる条件の下で、エッチング回数によってエッチング量を制御する。 - 特許庁
WET ETCHING SOLUTION AND WET ETCHING METHOD USING THE SAME 湿式エッチング溶液およびそれを用いた湿式エッチング方法 - 特許庁
PLASMA ETCHING METHOD AND DEVICE プラズマエッチング方法および装置 - 特許庁
APPARATUS FOR ETCHING SUBSTRATE AND METHOD OF ETCHING SUBSTRATE USING THE SAME 基板エッチング装置及びこれを利用した基板エッチング方法 - 特許庁
STAINLESS STEEL SHEET FOR ETCHING WORKING エッチング加工用ステンレス鋼板 - 特許庁
PLASMA ETCHING WITH TAPERED STRUCTURE テーパ付き構造のプラズマ・エッチング - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR PLASMA ETCHING プラズマエッチング方法及び装置 - 特許庁
PLASMA ETCHING DEVICE AND METHOD THEREFOR プラズマエッチング装置及び方法 - 特許庁