an astronomical observation device called an interferometer 電波干渉計という天体観測装置 - EDR日英対訳辞書
MULTI-CHANNEL MACH-ZEHNDER INTERFEROMETER TYPE OPTICAL CIRCUIT 多チャンネルマッハツェンダ干渉計型光回路 - 特許庁
At the same time, positional information of the wafer stage is measured using an interferometer system, e. g. an X interferometer 127 and a Y interferometer 16. 同時に、干渉計システム、例えばX干渉計127及びY干渉計16を用いて、該ウエハステージの位置情報を計測する。 - 特許庁
INTERFEROMETER, OPTICAL SWITCH AND OPTOELECTRONIC INTEGRATED DEVICE 干渉計、光スイッチ、及び光集積装置 - 特許庁
To improve measurement accuracy of a laser interferometer. レーザ干渉計の計測精度を改善する。 - 特許庁
STAGE POSITIONING DEVICE USING LASER INTERFEROMETER レーザ干渉計を用いたステージ位置決め装置 - 特許庁
FABRY-PEROT INTERFEROMETER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF ファブリペロー干渉計及びその製造方法 - 特許庁
DISPLACEMENT MEASURING INTERFEROMETER WITH LOW NONLINEAR ERROR 低い非線形誤差の変位測定干渉計 - 特許庁
SHEARING INTERFEROMETER AND SHEARING INTERFERENCE METHOD シアリング干渉計及びシアリング干渉方法 - 特許庁
REDUCING COHERENT ARTIFACT IN INTERFEROMETER 干渉計におけるコヒーレントアーティファクトの低減 - 特許庁
HOLDER OF PROFILE IRREGULARITY MEASUREMENT WITH LASER INTERFEROMETER レーザー干渉計での面精度計測保持具 - 特許庁
PHASE NOISE COMPENSATION IN INTERFEROMETER SYSTEM 干渉計システムにおける位相雑音補償 - 特許庁
The optical waveguide density of the interferometer A1 is larger than that of the interferometer A2. 干渉計A1の光導波路密度は干渉計A2の光導波路密度より大きい。 - 特許庁
First positional information of a stage WST is measured using an interferometer system, for example, an X interferometer 126 and a Y interferometer 16. 干渉計システム、例えばX干渉計126とY干渉計16とを用いてステージWSTの第1の位置情報を計測する。 - 特許庁
ESTIMATION METHOD OF DISTANCE BETWEEN TRACKING TYPE LASER INTERFEROMETER AND TARGET, AND TRACKING TYPE LASER INTERFEROMETER 追尾式レーザ干渉計と標的間距離の推定方法及び追尾式レーザ干渉計 - 特許庁
INTERFEROMETER SYSTEM, SIGNAL PROCESSING METHOD IN INTERFEROMETER SYSTEM, AND STAGES USING SIGNAL PROCESSING METHOD CONCERNED 干渉計システム、干渉計システムにおける信号処理方法、該信号処理方法を用いるステージ - 特許庁
LUMINOUS ENERGY RATIO REGULATION FILTER FOR INTERFEROMETER UNIT, INTERFEROMETER UNIT, AND LIGHT INTERFERENCE MEASURING METHOD 干渉計装置用光量比調整フィルタ、干渉計装置および光干渉測定方法 - 特許庁
Thus, appropriate interferometer control is carried out regardless of a temperature in the interferometer chamber. これにより、干渉計室内の温度に拘わらず適切な干渉計制御が実施される。 - 特許庁
DIFFRACTION GRATING FOR X-RAY TALBOT INTERFEROMETER, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND X-RAY TALBOT INTERFEROMETER X線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにX線タルボ干渉計 - 特許庁
ILLUMINATION SYSTEM FOR MIREAU TYPE MICROSCOPIC INTERFEROMETER AND MIREAU TYPE MICROSCOPIC INTERFEROMETER DEVICE EQUIPPED WITH SAME ミロー型顕微干渉計用照明光学系およびこれを備えたミロー型顕微干渉計装置 - 特許庁
INTERFERENCE PHASE DETECTING SYSTEM FOR OPTICAL INTERFEROMETER 光干渉計の干渉位相検出方式 - 特許庁
SIZE MEASURING INSTRUMENT USING LIGHT WAVE INTERFEROMETER 光波干渉計を用いた寸法測定装置 - 特許庁