「layer elements」を含む例文一覧(2250)
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一対の磁気トンネル効果素子の側方には、層間絶縁膜２７に連続して設けた絶縁膜３２を基板１０上に形成し、絶縁膜３２上に長尺状に形成した金属抵抗膜３２を形成する。 - 特許庁 - The powder for a lower layer desirably contains P by 0.1-5.0 wt% and further contains R (R is one or two rare earth elements or more including Y) by 0.1-10 at.% in an atomic ratio percentage (at.%) of R/Fe.
この下層用粉末は，好ましくはＰを０．１〜５．０ｗｔ％含有し，さらにＲ（ＲはＹを含む希土類元素の１種または２種以上）を，Ｒ／Ｆｅの原子比百分率（ ａｔ．％）で０．１〜１０ ａｔ．％含有する。 - 特許庁 - A tunnel insulating film and a charge film are formed on a silicon substrate 11, and two or more elements separating and insulating films 12 are formed to mark off the upper layer of the silicon substrate 11 as semiconductor parts 13 that extend in the direction of a memory string.
シリコン基板１１上にトンネル絶縁膜及びチャージ膜を形成し、複数の素子分離絶縁膜１２を形成して、シリコン基板１１の上層部分をメモリストリング方向に延びる半導体部分１３に区画する。 - 特許庁 - A liquid composition is applied to the whole area of the recess 26 formed in the center of the substrate S formed by the bank 25 to form the light emitting layer 28 of each organic EL elements 24 in the same bank 25.
そして、バンク２５によって形成された基板Ｓ中央に形成された凹状領域２６内全域に液状組成物を塗布して各有機ＥＬ素子２４の発光層２８を同じバンク２５内に形成するようにした。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a light emitting device equipped with a plurality of light emitting elements, of which, an organic light emitting layer hardly emits light at unintended regions by leak current, and to provide the light emitting device and electronic equipment using the same.
リーク電流によって有機発光層が意図しない領域で発光しにくい複数の発光素子を備えた発光装置の製造方法、発光装置およびこの発光装置を用いた電子機器を提供すること。 - 特許庁 - The liquid ejecting head includes the coating resin layer 3 having a plurality of ejecting openings 6 for ejecting ink and ink flow paths communicating with the respective ejecting openings 6, and a substrate 2 having energy generating elements 1 generating energy for ejecting the ink.
複数のインクを吐出するための吐出口６と、該各吐出口６に連通するインク流路とを有する被覆樹脂層３と、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子１を有する基板２と備える。 - 特許庁 - The magnetic powder is obtained by coating the surface of a transition metal oxide particle containing rare-earth elements with an alkali earth metal hydroxide layer, heating it, performing vapor phase reduction and slow oxidization, and further executing a reduction diffusion method.
この磁性粉末は、希土類元素含有遷移金属酸化物粒子の表面を、アルカリ土類金属水酸化物層で被覆し、これを加熱し、気相還元および徐酸化した後、さらに還元拡散法を施すことにより得られる。 - 特許庁 - This Web service providing part sets a layer having visible attributes for defining whether or not images should be displayed on the client as elements included in the markup language file, and assigns each of the plurality of images to one of the layers.
Ｗｅｂサービス提供部は、マークアップ言語ファイルに含まれる要素として、クライアント上で表示されるか否かを定義する可視属性を有するレイヤを設定すると共に、複数の画像のそれぞれをレイヤの内の１つに割り当てる。 - 特許庁 - Ultraviolet ray is radiated on the fluorescent substance layer 13 for these four detection pixels 10 to excitedly emit light, and the corresponding electron emission elements 15 are photographed by four cameras 23 disposed on the outside of the rear plate 2.
そして、これら４つの検出用画素１０の蛍光体層１３に紫外光を照射して励起発光させ、リアプレート２の外側に配設された４台のカメラ２３により、対応する電子放出素子１５を撮影する。 - 特許庁 - When forming an embedded contact in the semiconductor device composed by fabricating one or more semiconductor elements on a silicon substrate 101, an interlayer insulation film 109 is formed on the entire surface of a semiconductor element layer (first process).
シリコン基板１０１上に１又は複数の半導体素子が作り込まれてなる半導体装置に埋め込みコンタクトを形成するにあたり、半導体素子層の全面に層間絶縁膜１０９を形成する（第１工程）。 - 特許庁 - Each of the first and second semiconductor laser elements has a ridge structure, the ridge crestal planes of the ridge structures are positioned on almost the same height from a datum surface of the semiconductor substrate layer, and these ridge structures are simultaneously formed.
第１、第２の各半導体レーザ素子はそれぞれリッジ構造を有し、これらの各リッジ構造のリッジ頂面が、半導体基板層の基準面からほぼ同じ高さに位置し、これらのリッジ構造が同時に形成される。 - 特許庁 - The hologram micro optical element array is manufactured by forming a plurality of minute holograms which constitute optical elements in a hologram layer 3 of a hologram medium 1, while changing the irradiation position of the object light and referential light on the hologram medium 1.
ホログラム用媒体１に対する物体光および参照光の照射位置を変更しながら、ホログラム用媒体１のホログラム層３に光学素子となる微小なホログラムを複数形成して、ホログラムマイクロ光学素子アレイを製造する。 - 特許庁 - Since the perimeter and bottom surface of the transistor 10, 20 formation region are surrounded with the STI2 and the barrier layer 7, effects to adjacent elements voltage fluctuation of the transistor 10, 20 formation region on an adjoining element when α ray enters are suppressed.
トランジスタ１０、２０形成領域の周囲及び底面がＳＴＩ２及びバリア層７により囲まれるから、α線入射時のトランジスタ１０、２０形成領域の電圧変動が、隣接する素子へ及ぼす影響が抑制される。 - 特許庁 - To provide a method for fabricating a compound semiconductor device having such a structure as elements fabricated on a GaAs substrate are isolated by making a trench and the state of a wafer is sustained by a metal layer of PHS structure in which the wafer is prevented from being warped.
ＧａＡｓ基板上に形成した素子を、溝を形成することによって分離し、且つＰＨＳ構造の金属層によってウェハ状態を保つ構造において、ウェハにそりが発生することの無い製造方法を提供する。 - 特許庁 - Switching operation of four switching elements SW11-SW14 is regulated to perform charging by step-down chopper operation and to perform discharging by step-up chopper operation and charge/discharge polarity to the electric double layer capacitor C is switched.
４つのスイッチング素子ＳＷ１１〜ＳＷ１４のスイッチング動作を調整し、降圧チョッパ動作により充電を、昇圧チョッパ動作により放電を行なうと共に、電気二重層キャパシタＣへの充放電極性を切り換える。 - 特許庁 - The attachment verifying print pattern (S) comprises not less than one kind of elements, such as characters, figures, marks, and the like, which are formed, for example, through a heat coloring reaction of a heat coloring ink layer or a transfer on a hologram metallic foil.
係着証明印影（Ｓ）は、文字，数字，記号，マーク等の１種又は２種以上の要素で構成され、例えば、感熱発色性インキ層の加熱発色反応により、あるいはホログラム金属箔の転写等により表出される。 - 特許庁 - To provide a display panel including two-dimensionally aligned display pixels having light emitting elements, which can ensure satisfactory light emitting characteristic or an extended life by suppressing the deviation or dispersion of film thickness in a light emitting functional layer, and a manufacturing method thereof.
発光機能層の膜厚の偏りやバラツキの発生を抑制して、良好な発光特性や長寿命化が可能な発光素子を有する表示画素が二次元配列された表示パネル及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - The magnetic convergence plate 12 is arranged on the Hall elements 14a and 14b on a second metallic film 16b through a first metallic film 16a arranged on the protection layer 15.
磁気収束板１２は、保護層１５上に設けられた第１の金属膜１６ａを介して、さらにその上に設けられた第２の金属膜１６ｂ上で、かつホール素子１４ａ，１４ｂの上方に配置されるように設けられている。 - 特許庁 - The replica method of adding the resin layer to the surface of the sphere or flat plane substrate by using the negative die 23 which is thus manufactured permits the manufacture of the aspheric optical element highly accurate as compared to the elements of prior arts at a low cost.
このようにして製作されたネガ型２３を用いて、球面もしくは平面基板表面に樹脂層を付加するレプリカ法により従来より高精度な非球面光学素子が低コストで製作できるようになる。 - 特許庁 - The photographic film unit for a color diffusion transfer process comprises a photosensitive element with a dye forming compound and a silver halide emulsion on a base, a neutralizing element comprising a neutralizing layer and a timing layer adjacent to the neutralizing layer and an alkaline processing composition which is spread between the photosensitive element and the neutralizing element and has an image receiving layer which fixes a dye on at least one of the elements.
支持体上に色素形成化合物とハロゲン化銀乳剤を有する感光要素と中和層と、該中和層と隣接したタイミング層から成る中和要素と、該感光要素と該中和要素の少なくとも１つの要素に色素を固定する受像層を有し、該感光要素と該中和要素の間に展開されるアルカリ性処理組成物からなるカラー拡散転写法用写真フィルムユニットで、該中和層のガラス転移点（Ｘ°K）と塗設量（Ｙg/m^2）が一般式（Ｉ）で表されることを特徴とする。 - 特許庁 - The abrasive material used for polishing the end face of the optical fiber connector into a predetermined shape comprises a substrate and an abrasive layer provided on the substrate, the abrasive layer having an abrasive composite containing abrasive grains and a binder as components and the abrasive layer having a solid structure formed with solid elements regularly arranged in a predetermined shape.
光ファイバーコネクタ端面を所定の形状に研磨するために用いる研磨材料において、上記研磨材料が基材と基材上に設けられた研磨層とを有し、上記研磨層が構成成分として砥粒と結合剤とを含む研磨コンポジットを有し、そして上記研磨層が、規則的に複数配置された所定形状の立体要素で構成された立体構造を有する研磨材料。 - 特許庁 - A circuit design information display device 11 extracts the information of parasitic elements belonging to two wiring nodes adjacent in the same wiring layer or between different wiring layers from layout data 1 of the circuit, and generates a parasitic capacity list 17 including the information of those two wiring nodes and the parasitic capacity elements, and displays the parasitic capacity list 17 on a display 15.
回路設計情報表示装置１１は、回路のレイアウトデータ１より、同一の配線層内，又は異なる配線層間で隣接する２つの配線ノード間に属する寄生素子の情報を抽出し、それら２つの配線ノード並びに寄生容量素子の情報を含む寄生容量リスト１７を生成し、ディスプレイ１５に寄生容量リスト１７を表示する。 - 特許庁 - On the surface of a base material composed of metal or ceramic, an amorphous carbon film is formed by a cathode discharge type arc ion plating method using a carbon target and moreover, on the boundary between the carbon film and the base material, a mixed layer of 10 to 500 Å thickness composed of the base material constituting elements and film constituting elements is formed to obtain a high adhesion amorphous carbon film forming material.
金属またはセラミックからなる基材の表面に、カーボンターゲットを用いてカソード放電型アークイオンプレーティング法により非晶質炭素膜を形成すると共に、該炭素皮膜と基材の界面に、これら基材構成元素と皮膜構成元素とからなる厚さ１０〜５００Åの混合層を形成し、高密着性非晶質炭素皮膜形成材を得る。 - 特許庁 - The illuminator can also have a plurality of splitting optical elements for respectively splitting a plurality of independent laser beams emitted from the plurality of independent laser light sources into pluralities of laser beams, and a plurality of units constituted by gathering optical elements which respectively change the advancing directions of the plurality of independent laser beams emitted from the plurality of independent laser beam sources and the optical-path lengths of the plurality of layer beams.
複数の独立したレーザ光源から出射される複数の独立な光を複数の光に分割するためにレーザ光源の数だけ配置された分割光学素子と、複数の独立したレーザ光源から出射される複数の独立な光の進行方向を変えかつ複数の光の光路長をそれぞれ変える光学素子が集まったユニットとを有していてもよい。 - 特許庁 - In the case of heating a semi-insulated GaAs substrate 1 inside a reaction pipe and growing the compound of group III elements and group V elements on the GaAs substrate 1 with the method of vapor phase epitaxial growth, by leading oxygen into the reaction pipe just before growing a target epitaxial layer, a residual Si impurity, which can not be completely removed by sulfuric acid etching, is inactivated.
半絶縁性のＧａＡｓ基板１を反応管内で加熱し、ＧａＡｓ基板１上に III族元素とＶ族元素との化合物を気相エピタキシャル成長法により成長させる際、目的とするエピタキシャル層の成長を行う直前に酸素を反応管内に導入することにより、硫酸エッチングでは除去しきれない残留Ｓｉ不純物を不活性化する。 - 特許庁 - A solid-state imaging apparatus includes: a plurality of photoelectric conversion elements 12 for photoelectrically converting incident light and obtaining signal charges; a plurality of color filter layers 13 formed at light incident sides of the respective photoelectric conversion elements 12; and an organic photoelectric conversion layer 14 formed on the light incident sides farther than the respective color filter layers 13 and using coloring matters for absorbing near-infrared light.
入射光を光電変換して信号電荷を得る複数の光電変換素子１２と、前記複数の光電変換素子１２のそれぞれの光入射側に設けられたカラーフィルター層１３と、前記各カラーフィルター層１３よりも前記光入射側に形成されていて、近赤外光に吸収を有する色素を用いた有機光電変換層１４を有する。 - 特許庁 - First drawing data are read from a first drawing data file 63a created by the first CAD system 100, and elements whose electric connection relationship is specified by wiring net data(net) configuring one portion of attribute data are grouped by every layer and every element classification so that a list representing the attribute data of elements configuring the first drawing data can be generated.
第１ＣＡＤシステム１００で作成した第１図面データファイル６３ａから第１図面データを読み出し、属性データの一部を構成する配線ネットデータ（ｎｅｔ）によって電気的な接続関係が特定されるエレメントを、レイヤ別かつエレメントの種別ごとにグループ分けすることにより、第１図面データを構成するエレメントの属性データを表すリストを生成する。 - 特許庁 - On a glass substrate 3 of a housing 2 of this fluorescent display tube, an aluminum thin film 5 is formed, and thereon a circuit board 6 on which an anode consisting of anode conductors, control elements and a phosphor layer is formed is bonded and fixed by a die-bond material 9.
この蛍光表示管の外囲器２のガラス基板３には、アルミニウム薄膜５が形成され、その上に、陽極導体と制御素子と蛍光体層からなる陽極が形成された回路基板６がダイボンド材９で接着固定されている。 - 特許庁 - This hub outer ring 5 is formed of steel, and when hardening a raceway surface 37 of the outer ring, the maximum hardness of a hardened layer is set to be ≥Hv 700, and the effective hardening depth is set in a range of 12-25% of the diameter of the rolling elements.
このハブ外輪５は鋼製であり、その外輪軌道面３７の焼入れに際して、硬化層の最大硬さがＨｖ７００以上で、かつ焼入有効硬化深さを前記転動体直径の１２〜２５％の範囲内にする。 - 特許庁 - The oxide for a semiconductor layer of a thin-film transistor contains Zn, Sn, and In, and following formulas (1)-(3) are satisfied where [Zn], [Sn], and [In] are the contents (atomic %) of the metallic elements contained in the oxide.
本発明に係る薄膜トランジスタの半導体層用酸化物は、Ｚｎ、Ｓｎ、およびＩｎを含み、酸化物に含まれる金属元素の含有量（原子％）をそれぞれ、［Ｚｎ］、［Ｓｎ］、および［Ｉｎ］としたとき、下記式（１）〜（３）を満足するものである。 - 特許庁 - Individual electrodes 18, a common electrode 19, and a bonding layer 20 to a base member 6 are formed at the same time by depositing solder layers on base layers, at the other three faces of a piezoelectric element member 14 excluding both flanks in the longitudinal direction of a group 5 of piezoelectric elements.
圧電素子群５の長さ方向の両側面以外の圧電素子部材１４の他の３面に下地層の上に半田層を成膜して個別電極１８と共通電極１９及びベース部材６との接合層２０を同時に形成する。 - 特許庁 - Further, a color filter is provided at an opposite side of the insulation layer 15 for black matrix of the organic EL elements so that a boundary of each pixel 23b of the color filter 23 is to face a boundary of a pixel electrode 17 of each organic EL element.
さらに、有機ＥＬ素子１６のブラックマトリックス用絶縁層１５と反対側にカラーフィルタ２３を設け、該カラーフィルタ２３の各画素２３ｂの境界が各有機ＥＬ素子１６の画素電極１７の境界と対向するように配設した。 - 特許庁 - Wiring circuits 2 mounted with a circuit elements 4 are provided on a substrate 1, and an insulating resin layer 6 having a thickness to fill a gap between the element 4 mounted on the circuits 2 and the substrate 1 is formed on the substrate 1 between the circuits 2 with a width roughly two times wider than that of the element 4.
回路素子４を装着する配線回路２，２間の基板１上に、回路素子４の略２倍の幅で、装着した回路素子４と基板１の間の隙間を埋める厚みを有する絶縁樹脂層６を形成した。 - 特許庁 - A porous silicon layer 102 is formed on a silicon substrate 101, and respective layers being constitutional elements of an inkjet recording head are formed thereon, and after a delivering opening 109 is formed, a silicon substrate 101 is cut off, and thereafter, an ink feeding opening is formed.
シリコン基体１０１にポーラスシリコン層１０２を形成し、その上にインクジェット記録ヘッドの構成要素となる各層を形成し、吐出口１０９を形成した後にシリコン基体１０１を切り離し、その後にインク供給口を形成する。 - 特許庁 - An Mn system alloy film containing at least one kind of elements among Ru, Rh, Pd, Ag, Os, Ir, Pt, and Au as a base layer 11 is provided between a magnetoresistance effect film having at least two ferromagnetic films 12 isolated by non-magnetic films 13 and a substrate 10.
非磁性膜によって隔てられ、少なくても２層以上の強磁性膜を有する磁気抵抗効果膜と、基板との間に、下地層として、Ｒｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ，Ａｕのうち少なくとも１種類以上の元素を含有するＭｎ系合金膜を設ける。 - 特許庁 - Also, the light-emitting element can be a laminated type light-emitting element with a plurality of respective light-emitting elements laminated, and the light-emitting layer of the light-emitting element is made of organic materials, which again, would preferably include a plurality of organic materials having different light- emitting colors.
また、前記発光素子は、各発光素子を複数個積層してなる積層型発光素子であってもよく、前記発光素子の発光層は、有機材料からなり、また、異なる発光色を有する複数の有機材料を含むことが好ましい。 - 特許庁 - For forming a plurality of semiconductor elements over an insulating surface, in one continuous semiconductor layer, an element region serving as a semiconductor element and an element isolation region having high resistance and a function to electrically isolate element regions from each other are formed.
絶縁表面上に複数の半導体素子を形成するために、連続した半導体層中に半導体素子として機能する素子領域と、抵抗が高く素子領域間を電気的に分離する機能を有する素子分離領域を形成する。 - 特許庁 - To effectively avoid reliability deterioration due to damage to a protecting layer by particularly applying a printer head, a printer and a method for manufacturing printer heads to a printer of a system in which ink liquid drops are burst out by heating of heating elements.
本発明は、プリンタヘッド、プリンタ及びプリンタヘッドの製造方法に関し、特に発熱素子の加熱によりインク液滴を飛び出させる方式のプリンタに適用して、保護層の損傷による信頼性の劣化を有効に回避することができるようにする。 - 特許庁 - The liquid crystal display element is equipped with: a color filter substrate having light shield portions and pixel portions between the light shield portions; an array substrate having display electrodes and driving elements; and a liquid crystal layer held between the color filter substrate and the array substrate.
本発明の液晶表示素子は、遮光部および前記遮光部間の画素部を備えたカラーフィルタ基板と、表示電極および駆動素子を備えたアレイ基板と、カラーフィルタ基板とアレイ基板との間に保持された液晶層とを備える。 - 特許庁 - The solid-state imaging apparatus has a light receiving region 101 having a plurality of photoelectric conversion elements 2, and a peripheral circuit region 102 on the semiconductor substrate 1, and a second resin layer 8 is formed on the light receiving region 101 and the peripheral circuit region 102.
半導体基板１上に、複数の光電変換素子２を有する受光領域１０１と、周辺回路領域１０２とを有し、受光領域１０１及び周辺回路領域１０２上に第２の樹脂層８を形成する。 - 特許庁 - A power supplying strip line 13 extended linearly and ten pieces of radiating antenna elements 14a-14j perpendicularly projecting from the line 13 are formed on a dielectric substrate 12 whose one face is provided with a ground conductive layer (ground plate) 11.
一方の面に接地導体層(接地板)１１が形成された誘電体基板１２上に、直線状に延びた給電ストリップ線路１３と、その線路１３から垂直に突出した１０個の放射アンテナ素子14a〜14jとが形成されている。 - 特許庁 - The imaging device 100 comprises a light receiving part 10 having a plurality of light receiving elements 11 in an array, a microlens array 50 having a plurality of microlenses 51, and a light shielding layer 20 disposed between the light receiving part 10 and the microlens array 50.
撮像装置１００は、複数の受光素子１１が配列された受光部１０と、複数のマイクロレンズ５１を有するマイクロレンズアレイ５０と、受光部１０およびマイクロレンズアレイ５０の間に設けられた遮光層２０とを備えている。 - 特許庁 - The oxide interface layer includes β-alumina or an oxide having a chemical composition by formula: AB_12O_19 (A is an alkaline earth metal element or a rare earth metal element: B is one or more trivalent transition metal elements; O is oxygen).
酸化物界面層として、β−アルミナまたはＡＢ_12Ｏ_19（ここで、Ａ:アルカリ土類金属元素または希土類金属元素、Ｂ:１種類以上の３価の遷移金属元素、Ｏ:酸素を示す）で示される化学組成を有する酸化物が挙げられる。 - 特許庁 - To suppress routing of noise from one circuit element to another through a metal substrate without impairing heat dissipation of the metal substrate in a configuration of a circuit device having circuit elements provided on an insulating resin layer on the metal substrate.
金属基板上の絶縁樹脂層の上に回路素子を設けた回路装置の構成において、金属基板の放熱性を損なうことなく、金属基板を介して一方の回路素子から他方の回路素子にノイズが回り込むことを抑制する。 - 特許庁 - A ferroelectric liquid crystal display panel 10 comprises a ferroelectric liquid crystal material layer held between two substrates which have column electrode lines 4 and row electrode lines 5 crossing with each other and forming a matrix array of switching elements on the respective inner side faces.
強誘電性液晶表示パネル１０は、２枚の基板の間で、互いに交差し、スイッチング素子のマトリクスアレイを形成する列電極線４および行電極線５をそれぞれその内側面に有する強誘電性液晶材料の層を含む。 - 特許庁 - A layer-form packet collar is formed such that a plurality of sheets 2 are aligned at intervals in an axial direction by a spacer element 3 and further, coupled to two connection flanges through engaging and clamp elements 4 and 5 peripherally situated.
層状パケットカラーは、数個の薄板（２）がスペーサー要素（３）により軸方向に間隔をおいて並べられることにより形成されていて、さらに円周方向に配置された係合およびクランプ要素（４，５）により二つの接続フランジに結合されている。 - 特許庁 - First to N-th variable capacitance elements each composed of a pair of electrodes 2 and 5, a thin film dielectric layer 5, and input/output terminal-side bias lines V1 and V2 are formed on a support substrate 1.
支持基板１に、一対の電極２、５と、薄膜誘電体層５とから成る第１乃至第Ｎの可変容量素子を形成するとともに、入力端子側バイアスラインと、出力端子側バイアスラインとをそれぞれ形成した容量可変薄膜コンデンサである。 - 特許庁 - To enhance the yield, productivity, characteristics, and reliability of an element while using a semiconductor film as a tunnel barrier layer by adjusting the amount of added impurities for controlling electric conductivity, thereby obtaining the high integration of elements.
本発明はトンネル障壁層に半導体膜を用いるが、添加される不純物の量を調節して電気伝導度を調節することにより、素子の収率、生産性、特性及び信頼性を向上させ、それに伴う素子の高集積化を可能にする。 - 特許庁 - To provide an optical waveguide device capable of preventing light receiving elements (photoelectric transducers) from malfunctioning even if it is used in an environment of high illuminance disturbance light, such as sunlight, and to provide a resin composition used in the formation of an over cladding layer of the device.
太陽光のような外乱光の照度が高い環境で使用しても、受光素子（光電変換素子）の誤作動を防止することができる光導波路デバイスおよびそのオーバークラッド層の形成に用いられる樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - In the method for manufacturing a capacitor, a capacitance film is formed by the atomic layer depositing method by using organic raw materials containing one or two or more metallic elements selected from a group constituted of Zr, Hf, La and Y as film formation gas.
本発明のキャパシタの製造方法において、容量膜は、Ｚｒ、Ｈｆ、ＬａおよびＹからなる群から選択される一または二以上の金属元素を含む有機原料を成膜ガスとして原子堆積法により成膜される。 - 特許庁
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