「processing layer」を含む例文一覧(3235)
＜前へ 1 2 .... 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 次へ＞- The light emitting element 100 has its light extraction efficiency improved as compared with a configuration wherein only fine unevenness 109 is provided since a surface of an n-type layer 106 on the side of n-type electrodes 107 is subjected to unevenness processing in two stages of recessed portions 108 and fine unevenness 109 which differ in depth and width.
発光素子１００は、ｎ型層１０６のｎ電極１０７側の面に、凹部１０８と微細な凹凸１０９とによる、深さ、幅の異なる２段階の凹凸加工が施されているため、微細な凹凸１０９のみを施した場合に比べて光取り出し効率が向上している。 - 特許庁 - To solve a problem which has become important in material cost, man-hour, environmental load, and quality in a process to form the cathode layer of a solid-state catalyst electrolytic capacitor that the electrolytic polymerization liquid used for polymerization is wholly discarded and replaced if the amount of electricity for processing reaches a certain level due to the problem of electrical properties.
固体電解コンデンサの陰極層を形成する工程において、重合時に使用する電解重合液は電気特性の問題から処理電気量があるレベルに達すると全液廃棄交換しており、材料コスト、工数、環境負荷、品質で重要な課題となっている。 - 特許庁 - By performing processing to reduce a diameter after forming many grooves 1a in the longitudinal direction of the core bar 1 on the outer peripheral surface of the core bar 1 and movably inserting the substance 6 onto the outer periphery side of the layer 5, the inner periphery part at the end of the substance 6 is bitten and bonded in the groove 1a in the fixing roller.
この定着ローラでは、芯金１の外周面にその長手方向に沿う溝１ａを多数列形成し、離型層基体６を第２絶縁層５の外周側に遊挿した後、縮径加工することにより、離型層基体６の端部内周部を溝１ａに食い込み接合する。 - 特許庁 - To provide a coverlay film which is intended for a tape carrier for a semiconductor device in which a wiring layer having a predetermined pattern is formed on a surface of a resin tape and a semiconductor chip mounting part is formed at a predetermined position and which has excellent flame retardancy and superior workability, and small curl variation due to a processing environment.
樹脂テープ表面に所定パターンの配線層を形成し、所定の箇所に半導体チップ搭載部を形成した半導体装置用テープキャリア用に、難燃性および加工性に優れ、加工環境によるカール量変化の少ないカバーレイフィルムを提供する。 - 特許庁 - The method of regenerating the core metal for the conductive roller, which is used for the conductive roller having the core metal and an elastic layer arranged on the outer periphery of the core metal, includes a stage for making the maximum height Ry of the core metal small by burnishing processing.
芯金と該芯金の外周に配された弾性層とを有する導電性ローラに用いられる導電性ローラ用芯金の再生方法であって、該芯金の最大高さＲｙをバニッシング処理によって小さくする工程を有する導電性ローラ用芯金の再生方法。 - 特許庁 - Thus, an infrared ray transmitted through a sound hole 22a formed on a cover board 22 to a capacitor structure part 12 is reflected on the vibrating film 32A on which the infrared reflecting paint has been applied in reflow processing, so that it is possible to prevent the electret layer 34B from being exposed to the heat of the infrared ray.
これにより、リフロー処理の際、カバー基板２２に形成された音孔２２ａを介してコンデンサ構造部１２に到達する赤外線を、赤外線反射塗料が塗布された振動膜３２Ａで反射させて、エレクトレット層３４Ｂが赤外線の熱に曝されてしまわないようにする。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a glass substrate for a magnetic recording medium, which includes a step for processing a glass sheet having a plate shape to form a glass substrate that excels in plate thickness distribution and flatness and does not have an affected layer on a main plane or an end surface thereof with high productivity.
本発明は、板形状を有するガラス素基板を、板厚分布と平坦度に優れ、ガラス基板の主平面や端面に加工変質層を有さないガラス基板に、高い生産性で加工する工程を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 - 特許庁 - A transmission data extract section 23 generates transmission timing signals 26-1-26-n deciding a transmission timing to a destination line in response to the line exchange information 11 and extracts transmission B channel data 12-1-12-n from the multiplexed B channel 25 to provide an output of it to the layer 1 processing sections 1-1-1-n.
送信データ抽出部２３は送信先回線への送出タイミングを決める送信タイミング信号２６-1〜２６-nを回線交換情報１１に応じて発生させ、多重化Ｂチャネル２５上から送信Ｂチャネルデータ１２-1〜１２-nを抽出してレイヤ１処理部１-1〜１-nに出力する。 - 特許庁 - To eliminate a processing circuit in a data link layer in the middle to miniaturize a media converter and to reduce power consumption by adopting an optical repeater in which a signal can be directly converted at a low-order level when converting the electric signal of IEEE802.3 standard 10/100Base-Tx to an optical signal and repeating it.
ＩＥＥＥ802.3規格の10/100Base-Txの電気信号を、光信号に変換して中継する場合に、下位のレベルで、信号が直接変換できる光リピータを採用することにより、途中のデータリンク層での処理回路が省略でき、メディアコンバータの小型化、低消費電力化が図れる。 - 特許庁 - An adhesive tape for cutting processing that is used for manufacturing a semiconductor chip, a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) device, a functional glass substrate, and a semiconductor package and the like from a plate-like to-be-cut object, has a base material 1 and an adhesive layer 2 arranged on the base material 1.
切削加工用粘着テープは、板状の被切削物から半導体チップ、ＭＥＭＳデバイス、機能性ガラス基板、および半導体パッケージ等を製造するために使用される切削加工用粘着テープであり、基材１と、基材１上に配された粘着層２と、を備える。 - 特許庁 - Moreover, the finishing work using a polish polishing of the backside of the wafer 10 is performed, using a CMP unit and with a grinding damaged layer 28 formed newly at grinding of the backside of the wafer 10 which is removed by polishing, the wafer 10 is subjected to ultra-thin processing down to a thickness of 100 μm.
更にＣＭＰ装置を用いてウェーハ１０裏面のポリッシュ研磨による仕上げ加工処理を行い、ウェーハ１０の裏面研削の際に新たに形成された研削ダメージ層２８を研磨除去すると共にウェーハ１０を厚さ１００μｍにまで超薄型加工する。 - 特許庁 - To provide a substrate processing method capable of giving a high quality-polished surface where a metal layer is efficiently removed and the generation of defects in polishing such as a metal residue, dishing, and erosion are suppressed in manufacturing a semiconductor device formed of wiring materials such as metals of copper, copper alloy and the like.
銅または銅合金等の金属を配線材料とする半導体装置の製造において、金属層が効率的に除去され、かつ金属残り、ディッシング、エロージョン等の研磨不良の発生が抑制された高品位の被研磨面を与えることができる、基板処理方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a printed circuit board which can easily prevent a resin from staying in a via hole without conducting a permanganate treatment, when forming the via hole for electrically connecting interconnection metal layers arranged with an insulation layer between by laser processing, and to provide its manufacturing method.
絶縁層を挟んで配置される配線金属層間を電気的に接続するためのビアホールをレーザ加工で形成する場合、過マンガン酸処理を行わずにビアホールに樹脂が残るのを防止することが容易にできるプリント配線板及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - In a method for making a planographic printing plate in which an undeveloped silver halide image region of a planographic printing plate precursor having a silver halide emulsion layer is selectively made lipophilic and ink-acceptable, processing is carried out in the presence of a compound having a mercapto group and a hydrophilic group.
ハロゲン化銀乳剤層を有する平版印刷版前駆体の未現像ハロゲン化銀像部を選択的に親油化しインキ受容性にする平版印刷版の作成方法において、メルカプト基と親水性基を有する化合物の存在下に処理することを特徴とする。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a genuineness and spuriousness discrimination label in which a variation in color is visually recognized only when a genuineness and spuriousness discrimination is made by making a surface layer have a different color tone from a luminous body and applying a special print processing thereto and which therefore is difficult to be imitated and has easiness of the discrimination.
本発明は、表層を蓄光体と異なる色調として特殊印刷処理をすることにより真偽判別時にのみ、色調の変化形態が視認でき得る模倣を困難とした判別の容易性のある真偽判別ラベルの製造方法を提供する。 - 特許庁 - Since the Si density in the light shielding film 120 is changed, a stress caused by a thermal strain during anneal processing is absorbed at an area where Si density is low, and thereby is less prone to occur, thus making it possible to prevent the occurrence of cracks in a dielectric or a semiconductor layer that may start from the light shielding film 120.
遮光膜１２０中のＳｉ濃度を変化させたので、アニール処理の際に熱歪みによる応力が、Ｓｉ濃度の低い部位で吸収されるため、発生し難くなり、遮光膜１２０を起点とする絶縁膜や半導体層に対するクラックの発生を防止することができる。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a rare earth permanent magnet thin film enabling mass-production at low cost of a high performance and small micro device with high processing accuracy, using a high performance permanent magnet thin film laminated with a high melting point metal layer, such as Ta, and a R-T-B based permanent magnet.
Ｔａなどの高融点金属層とＲ−Ｔ−Ｂ系永久磁石が積層された高性能永久磁石薄膜を用いた、高加工精度の小型・高性能なマイクロデバイスを、低コストで大量に生産することができる、希土類永久磁石薄膜の製造方法の提供。 - 特許庁 - This processing release paper comprises a laminate which is composed of a substrate and the releasing resin layer adhered to at least one of both the surfaces of the substrate, wherein the substrate has a surface resistivity (Ω) and/or a volume resistivity (Ω.cm) of 0.1×1010 to 6.0×1010.
工程剥離紙を、基体と、この基体の少なくとも一方の面に設けられた離型性樹脂層との積層体からなる構成とし、基体を表面抵抗値（Ω）および／または体積抵抗値（Ω・ｃｍ）が０．１×１０^10〜６．０×１０^10の範囲内のものとする。 - 特許庁 - The tungsten film 204 is formed on the oxide layer (Fig. 2b) by processing an oxide 202 using a silane-based gas mixture (for example, SiH6, SiCl2H2, or a combination of these gases) (Fig. 2a), and then thermally decomposing a W(CO)6 precursor at a temperature between about 250°C and 550°C.
タングステンの膜２０４は、シランベースのガス混合体（例えば、ＳＩＨ_6、ＳｉＣｌ_2Ｈ_2およびそれらの組合せ）を用いて酸化物２０２を処理し（図２ａ）、続いて、Ｗ（ＣＯ）_6の先駆物質を約２５０℃から５５０℃の温度範囲で熱分解することによって酸化物層の上に形成される（図２ｂ）。 - 特許庁 - To raise a controllability of a line width of a pattern, while reducing a developing defect, in case of forming a protective film of a water repellent property on a substrate an which a resist film is formed, and performing a development processing to the substrate after forming a liquid layer on a front surface of the protective film and carrying out an oil immersion exposure.
レジスト膜が形成された基板の上に撥水性の保護膜を形成し、その表面に液層を形成して液浸露光した後の基板に現像処理を行うにあたって、現像欠陥を低減させると共にパターンの線幅の制御性を向上させること。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a substrate for light emitting element mounting such that when at least an insulating layer is laminated on a substrate having a projection part for a light emitting element mounting position, the projection part is easily exposed and there is neither a problem of positioning nor a problem of precision of opening processing.
発光素子搭載位置の凸部が形成された基板に、少なくとも絶縁層を積層した際に、その凸部を容易に露出することができ、しかも位置合わせの問題や開口加工の精度の問題も生じにくい発光素子搭載用基板の製造方法を提供することにある。 - 特許庁 - To provide a device and a method for picking by a unit layer capable of preventing generation of loss time in pallet replacement in delivery of different kinds for improving processing ability to improve operability, and achieving a high degree of freedom in designing action patterns of picking in various modes of mixed stacking.
本発明は、異なる品種の受け渡し時におけるパレット交換に伴うロス時間の発生を防止して処理能力を高めて稼働率を向上させ、かつ種々の混載態様でピッキングの動作パターンの設計の自由度の高い層単位ピッキング装置および方法を実現する。 - 特許庁 - To allow a developer to have good property of dissolving a non-image portion and stable developing property in a development processing method for a photosensitive lithographic printing plate having a photosensitive layer containing at least an organic boron salt on a support, and to ensure both excellent image quality and printing durability in printing.
有機ホウ素塩を少なくとも含有する感光層を支持体上に有する感光性平版印刷版の現像処理方法に於いて、現像液が非画像部の溶出性が良好で安定した現像性を有し、且つ印刷時には画質及び耐刷性共に優れている事にある。 - 特許庁 - The layer 1 control section 310 generates finger user allocation information denoting to whom of users a finger is allocated, outputs the information to a demodulation section 36, and the demodulation section 36 carries out demodulation processing in a way such that phase compensation data generated by using this information are applied to the same user and the same path.
レイヤ１制御部３１０は、フィンガをどのユーザに割り当てたかを示すフィンガ・ユーザ割当情報を作成し、復調部３６に出力し、復調部３６は、この情報を用いて、生成された位相補償データが同一ユーザ同一パスに対してつながるようにして、復調処理を行う。 - 特許庁 - To provide a remover for multistage processing which safely and efficiently removes an etching residue in a short time that is formed in the forming process of a semiconductor multi-layer wiring structure and a display panel such as a liquid crystal panel, and to provide a stripping method using the remover.
半導体多層配線構造や液晶パネルなどの表示パネルの配線構造形成工程において形成されるエッチング残渣物を安全に、かつ短時間に効率的に除去することのできる多段階処理用剥離液およびこれを用いた剥離方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a semiconductor device having a memory cell of a floating gate structure which can form a silicon nitride film without involving reduction in yield while suppressing fluctuations in transistor threshold voltage as an etching stop layer for the processing of a bottom borderless contact on a control gate electrode.
浮遊ゲート構造のメモリセルを備えてなる半導体装置において、制御ゲート電極上にボトムボーダレスコンタクト加工用のエッチングストップ層として、トランジスタの閾値電圧変動を抑制しつつ、歩留りの低下を伴わずに窒化珪素膜を形成できる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a flash memory device capable of preventing a smiling phenomenon on an ONO layer and a bird's beak phenomenon on a tunnel oxide film, controlling increase of a surface resistance of a control gate, and increasing productivity by shortening the whole processing time.
ＯＮＯ層のスマイリング現象及びトンネル酸化膜のバーズビーク現象を防止することができ、コントロールゲートの面抵抗の増加を抑制することができるうえ、全体時間時間を短縮して生産性を向上させることができるフラッシュメモリ素子の製造方法を提供する。 - 特許庁 - The MAC layer processing means has a means (1001) for recording a transmission order list showing a transmission order allocated to each terminal which shares the wireless media, and a means (1003) for determining transmission timing of its terminal for the wireless media according to the transmission order list and the carrier sense information.
ＭＡＣ層処理手段は、無線媒体を共用する各端末に割り当てられる送信順番を示す送信順リストを記録する手段（1001）と、送信順リストおよびキャリアセンス情報に応じて無線媒体に対する自端末の送信タイミングを決定する手段（1003）とを有する。 - 特許庁 - To form a hard deposit layer in any arbitrary pattern on the surface of a wire tool of fixed abrasive grain type, to suppress a drop of the cutting efficiency resulting from repetitive use and elongate the tool life, and to reduce the labor required to conduct processing and also enhance the productivity easily.
固定砥粒式ワイヤ工具のワイヤ表面に任意のパターンで硬質堆積層を形成することができて、繰り返し使用による切断能率の低下を抑えるとともに工具寿命を延ばすことができ、且つ、加工に手間がかからず、容易に生産性を上げることができるようにする。 - 特許庁 - The method for manufacturing the light weight cellular concrete panel comprises performing surface-processing within a period keeping fluidity of a colored paint and a mortar composition coated on the surface of the ALC panel by the physical means of an gaseous stream, a water stream, pressing, sculpturing, scratching and the like and laminating the same as a decoration layer.
ＡＬＣパネル表面に塗布した着色塗料とモルタル組成物が流動性を有する時期に気流、水流、押圧、彫塑、引っ掻き、等の物理的手段で表面加工し、化粧層として積層させることを特徴とした軽量気泡コンクリートパネルの製造方法とする。 - 特許庁 - The method for processing the semi-permeable membrane comprises a process of bringing the semi-permeable membrane having a separation function layer containing a primary amino group into contact with a reagent which reacts with the primary amino group to produce a diazonium salt or its derivative, and a process of bringing the semi-permeable membrane into contact with an oxidizing agent.
第一級アミノ基を含む分離機能層を有する半透膜を、第一級アミノ基と反応してジアゾニウム塩またはその誘導体を生成する試薬に接触させる工程と、酸化剤に接触させる工程とを有する半透膜の処理方法とする。 - 特許庁 - To provide a connection mode control apparatus or the like in a network capable of continuing reproduction processing or the like in a node being a subordinate node of a node whose function is stopped without interruption even when the function of the node belonging to a higher-order layer in the tree-structure network is stopped.
ツリー構造のネットワークにおいて上位階層に属するノードの機能が停止した場合でも、その停止したノードの下位にあったノードにおける再生処理等を中断することなく継続させることが可能なネットワークの接続態様制御装置等を提供する。 - 特許庁 - Then the insulating layer 4 is exposed to an exposure light beam 6 through a photomask 5, baking processing is carried out after the exposure, and then development is carried out for an arbitrary development time by using an arbitrary developing solution to form the insulating pattern which is sectioned in the forward tapered shape or trailing shape.
その後、フォトマスク５を介して露光光線６により絶縁層４の露光を行い、露光後ベーク処理を施した後、任意の現像液と現像時間で現像することにより順テーパー形状または裾引き形状の断面形状を有する絶縁パターンを形成することができる。 - 特許庁 - In a wafer processing tape 1, semicircular or tongue-shaped notches 11 directing outside an adhesive agent layer 3 in a plan view are formed to such a depth that reaches a peel base material 2 from a base material film 5 side so as to correspond to a region P to be stuck to a wafer ring 14.
ウェハ加工用テープ１では、ウェハリング１４への貼付領域Ｐに対応して、平面視において接着剤層３の外側を向く半円状又は舌片状の切込部１１が基材フィルム５側から剥離基材２に到達する深さで形成されている。 - 特許庁 - To provide a processing method for a photosensitive planographic printing plate by which photosensitive planographic printing plates each having a layer of a positive photosensitive composition containing a photothermal conversion material and an alkali-soluble resin can stably be developed after imagewise exposure over a long period of time.
光熱変換物質とアルカリ可溶性樹脂とを含有するポジ型感光性組成物の層を有する感光性平版印刷版を、画像露光後、安定した現像処理を長期間にわたって実施できる、感光性平版印刷版の刷版方法を提供する。 - 特許庁 - The simultaneously molding and decorating sheet is constituted by laminating a thermoplastic substrate sheet on the emboss processed side of a release sheet made of a thermoplastic resin receiving emboss processing on at least a part of one side thereof and a decorative layer is formed on the surface on the side opposite to the release sheet laminated surface of the substrate sheet.
片面の少なくとも一部にエンボス加工が施された熱可塑性樹脂製剥離シートのエンボス加工面側に熱可塑性基体シートが積層され、且つ該基体シートの剥離シート積層面とは反対側の面には加飾層が形成された成形同時加飾用シートである。 - 特許庁 - A processing chamber (100) for performing atomic layer deposition (ALD), a substrate holder (120) provided within the process chamber, and a gas injection system (140) configured to supply a first process gas and a second process gas to the process chamber (100) are included in the subject apparatus.
処理チャンバ（１００）と、前記処理チャンバ内に設けられた基板ホルダ（１２０）と、前記処理チャンバ（１００）に、第１のプロセスガス及び第２のプロセスガスを供給するように構成されたガス注入装置（１４０）とを含む、原子層堆積（ＡＬＤ）を実行する処理システム（１００）。 - 特許庁 - In producing a waterproof and moisture-permeable processed fabric to which a resin layer is laminated by directly coating a fiber fabric with an aqueous resin, the method provides the cloth free from processing wrinkles, applied with a widening treatment in the weft direction of the fiber fabric at least either before coating or after coating.
繊維布帛に水系樹脂を直接コーティングし樹脂層を積層した防水透湿加工布帛を製造するに際し、コーティング前あるいはコーティング後の少なくともどちらか一方に、該繊維布帛の緯方向に拡幅処理を施す加工シワのない防水透湿加工布帛の製造方法。 - 特許庁 - To provide a concealing paper, concealing label and concealing packaging paper, having a structure of eliminating an aluminum vapor-deposited layer and improving the concealing property by processing a transparency-prevention on it in the concealing paper used for various labels such as the label for a beer bottle and packaging papers.
ビール瓶用ラベルをはじめとする各種ラベルや包装紙に用いられる隠蔽性用紙において、アルミ蒸着層を除いた構造の隠蔽性用紙であって透け防止を施して隠蔽性を高めた隠蔽性用紙及び隠蔽性ラベル及び隠蔽性包装紙を提供する。 - 特許庁 - An armouring material for a secondary battery is composed of a body 11 of metal foil, a film 12 processed with chromium chemical formation formed by the chromate processing at least on one surface of the metal foil body 11, and a heat seal layer 9 consisting of an acid denatured polyolefin film provided on the side with the chromate film 12.
この二次電池用外装材料は、金属箔本体１１と、金属箔本体１１の少なくとも片面にクロメート処理により形成されたクロム化成処理皮膜１２と、クロム化成処理皮膜１２側に酸変成ポリオレフィンフィルムよりなる熱封緘層９が設けられている。 - 特許庁 - Thus, the MAC layer control section 101a starts writing data of the next frame into the double buffer 104 by a DMA controller 103 without waiting the completion of data read from the double buffer 104 by a data processing section 101b, namely, can continuously transfer a plurality of frames.
これにより、ＭＡＣ層制御部ａ１０１は、データ加工部１０１ｂによるダブルバッファ１０４からのデータ読み出しの完了を待機することなく、ＤＭＡコントローラ１０３によるダブルバッファ１０４への次フレームのデータ書き込みを開始すること、即ち複数フレームの連続転送を可能とする。 - 特許庁 - To control a size of a gate electrode layer in processing and to control a regions of impurity diffusion layers (= a source region, a drain region) in a heat treatment step in particular when having a LDD structure as a gate length shortens with a MOS transistor made fine.
ＭＯＳ型トランジスタの微細化に伴い、ゲート長が短くなり、特にＬＤＤ構造を有する場合には、加工時におけるゲート電極層の寸法制御性、また、熱処理工程時の不純物拡散層（＝ソース領域、ドレイン領域）の領域を制御することが重要となる。 - 特許庁 - This sheet-like insecticide is composed of insecticidal sheet 10 where weakly adhesive medicinal layer 2 containing an insecticide is formed on at least one surface of base material 1 and cutting processing 4 is executed by perforating or the like in a lattice-like form or in a form fringed with animal patterns.
基材１の少なくとも一方の面に、殺虫剤を含み弱粘着性を有する薬剤層２を形成した殺虫シート１０であり、好適には格子状或いは動物の型紙を縁取るような形状に切取り加工４がミシン目等により施されている。 - 特許庁 - Additionally, the torque of the transfer roller drive motor is controlled while the recess part does not face an intermediate transfer belt, while an elastic layer 43 forms a nip NP facing the intermediate transfer belt 31 to perform the secondary transfer processing, that is, while the secondary transfer roller 4 reaches from the phase A to the phase B.
また、凹部が中間転写ベルトと対向していない間、弾性層４３が中間転写ベルト３１に対向してニップＮＰを形成して二次転写処理を行っている間、つまり二次転写ローラー４が位相Ａから位相Ｂに至る間、転写ローラー駆動モーターをトルク制御している。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a multilayer board, comprising a step of manufacturing a multilayer board by a continuous processing method, in which copper foil surfaces of the multilayer board on which the copper foil surfaces are bonded via insulating layers on both the sides of a circuit board for inner layer can be smoothly formed, and the process control is facilitated.
連続工法によって多層板を製造する工程を備える製造方法であって、内層用回路板の両面に絶縁層を介して銅箔が接着されている多層板の銅箔面を平滑に形成することができ、工程管理が容易な製造方法を提供する。 - 特許庁 - By adding such a process, even if a positioning pin for positioning the silicon substrate 10 is made to contact with the side surface 28 of the silicon substrate 10 in the case of carrying the silicon substrate 10 or performing the surface processing of the silicon substrate, the positioning pin will not make contact with the inter-layer insulating film 15.
このような工程を追加すれば、シリコン基板１０の搬送や、あるいはシリコン基板１０の表面処理を行う際に、シリコン基板１０の位置決めのため位置決めピンをシリコン基板１０の側面２８に接触させても、層間絶縁膜１５に位置決めピンが接触することがない。 - 特許庁 - A plurality of these agents in the low-order layer understand commands from the clients in accordance with scenes and execute processing based on independent discrimination for resources related to devices required for the operation of the robot device such as a body trunk unit, a head part unit, an arm part unit, a leg part unit, etc.
これら下位層の複数のエージェントは、前述した体幹部ユニットや、頭部ユニット，腕部ユニット，脚部ユニット等のロボット装置が稼動するのに必要な装置に関連したリソース（Resource）を対象とする、クライアントからのコマンドを場面に応じて理解して自立的な判断に基づいた処理を実行する。 - 特許庁 - A map data formation device 10 comprises: a main control part 100; a data reference part 101; a conversion part 102; a database 30 for storing layer data, the database being constituted as a part of the conversion part 102; a region designation part 103; a printing data formation part 104; and a printing processing part 105.
地図データ作成装置１０は、主制御部１００と、データ参照部１０１と、変換部１０２と、変換部１０２の一部として構成されているレイヤデータを格納するデータベース３０と、領域指定部１０３と、印刷用データ作成部１０４と、印刷処理部１０５とを備えている。 - 特許庁 - A protective film 107 of a carbon polymer is formed on a sidewall of a polysilicon film 105 with plasma containing carbon after the polysilicon film 105 is etched to prevent side etching and sidewall roughening of the polysilicon film 105 even when the metal material 104 forming a lower-layer film is subjected to etching processing with plasma of halogen-based gas under etching conditions of volatility increased by keeping a wafer at higher temperature and processing pressure lower.
ポリシリコン膜１０５をエッチングした後に、カーボンを含むプラズマによりポリシリコン膜１０５の側壁にカーボンポリマの保護膜１０７を形成させることで、ウェハの高温化や処理圧力の低圧力化により揮発性をあげたエッチング条件下で、ハロゲン系ガスのプラズマにより下層膜である金属材料１０４のエッチング処理を行っても、ポリシリコン膜１０５のサイドエッチ及び側壁荒れを防止することができる。 - 特許庁 - A method for forming a patterned thin film layer on a substrate of a device comprises a step (block 110) for forming a first structure of comparatively high resolution on the device substrate using a first processing tool, and a step (block 120) for forming a second structure of comparatively low resolution on the device substrate so as to be connected to the first structure using a second processing tool.
本発明は、装置の基板上にパターニングされた薄膜層を形成する方法であって、第1の処理ツールを用いて、前記装置基板上に比較的高解像度の第1構造を形成するステップ（ブロック１１０）と、第２の処理ツールを用いて、前記装置基板上に、前記第１構造と接続されるように、比較的低解像度の第２構造を形成するステップ（ブロック１２０）と、を含む方法であることを特徴とする。 - 特許庁
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