「processing liquid」を含む例文一覧(4296)
＜前へ 1 2 .... 64 65 66 67 68 69 70 71 72 .... 85 86 次へ＞- To provide an apparatus and a process for carrying out reactions involving a liquid phase, a gaseous phase and a solid phase with improved mass transfer between the gas phase and the liq. and with isothermal processing.
目的は、気相と液体間の物質移動を改善し、等温操作によって液相、気相及び固相を含有する反応を実施するための装置及び方法を提供することである。 - 特許庁 - To provide a method and a device for manufacturing a liquid crystal alignment film that can efficiently perform alignment processing for the alignment film formed on a glass substrate while securing in-surface uniformity.
本発明は、ガラス基板に形成された配向膜への配向処理を、面内均一性を確保しながら効率良く行なうことができる液晶配向膜の製造方法及び製造装置を提供する。 - 特許庁 - The invention relates to a method for monitoring the quality of the introduction of a filter (41) or a filter strands (40, 40') of the tobacco processing industry with capsules (43, 44) filled with a liquid.
さらに、この発明は、液状充填物を有するカプセル（４３、４４）を備える煙草加工産業のフィルタ（４１）或いはフィルタストランド（４０、４０’）の装入の品質を監視する方法に関する。 - 特許庁 - The commercially available sour agent that is obtained by recycling the Japanese plum processing liquid waste is added to food materials or a small amount of the same is added while foods are combined whereby improving the qualities of foods and food materials complexly.
市販の梅加工廃液リサイクル酸味料を食品原料、あるいは食品配合中に少量添加することにより食品、食材の品質を複合的な特性において向上する。 - 特許庁 - To provide a fresh polishing slurry and a texture processing method capable of forming fine and uniform texture streaks in the surface of a glass substrate and needing no labor neither cost for maintenance of quality and disposing of waste liquid.
ガラス基板の表面に微細且つ均一なテクスチャ条痕を形成でき、品質の維持と廃液処理に手間とコストがかからない新規な研磨スラリー及びテクスチャ加工方法を提供することである。 - 特許庁 - To provide a screw-driven solid-liquid separating/dehydrating apparatus with which especially sufficient efficiency of processing is expected and usefulness is displayed in the case the apparatus is in-line connected on the way of a slurry transferring line.
スラリー移送ラインの途中にインライン接続した場合に、特に十分な処理効率を期待することができて有用性を発揮し得るスクリュー式固液分離脱水装置を提供する。 - 特許庁 - The system and method is adapted to recover water from humid air for reuse in the processor, as well as convert a liquid waste processing solution into a dry waste for disposal.
この感光材処理システム及び方法は、液状の廃棄処理溶液を、廃棄可能な固形状の廃棄物に変えると同様に、湿気を帯びた空気から水を回収し、感光材処理器内で再利用する。 - 特許庁 - To provide an image processing apparatus that is easy to understand for a user and can reduce the number of operations required for a plurality of setting items in a consumer oriented apparatus limited in liquid crystal size.
液晶サイズが限られているコンシューマ向け機器において、複数の設定項目に要する操作回数を減らすことができ、利用者にとって分かり易い画像処理装置を提供する。 - 特許庁 - When the applying motion of the processing liquid to a recording medium 1 is stopped, the opening section 16a of the protective cover 16 is pressed to the peripheral surface of the applying roller 2, and the inside of the protective cover 16 is made a sealed space.
記録媒体１に対する処理液の塗布動作の停止時に、保護カバー１６の開口部１６ａを塗布ローラ２の周面に押し付けて、保護カバー１６内を密閉空間とする。 - 特許庁 - In addition to the substrate treatment process, a surface decorating processing process is constituted of a plating treatment process, a forming treatment process, a plating layer peeling process, a peel liquid washing process, a drying process and a washing process.
この下地処理工程に加えてメッキ処理工程、フォーミング処理工程、メッキ層剥離工程、剥離液洗浄工程、乾燥工程、洗浄工程夫々から表面装飾加工工程を構成する。 - 特許庁 - In a liquid processing apparatus 10, when a cup outer peripheral cylinder 50 is in an upper position, the atmosphere of the cup outer peripheral cylinder 50 is sent to the outer side of the cup outer peripheral cylinder 50.
液処理装置１０において、カップ外周筒５０が上方位置にあるときにこのカップ外周筒５０内の雰囲気が当該カップ外周筒５０の外側に送られるようになっている。 - 特許庁 - Therefore, not only the surrounding portion of the substrate W but its center portion similarly revolves, then, the processing liquid can be contacted with all over the surface of the substrate W.
したがって、基板Ｗの周辺部だけでなくその中心部も同様に公転運動をすることになるので、基板Ｗの全面にわたって処理液を均一に接触させることができる。 - 特許庁 - Further, flowing-out (desorption) of the main dopant having already been doped to the conductive polymer precursor is suppressed on the basis of the sub dopant contained in the wash liquid at the wash processing.
しかも、洗浄処理時には、洗浄液に副ドーパントが含まれていることに基づき、導電性高分子前駆体にあらかじめドープされていた主ドーパントの流出（脱離）が抑制される。 - 特許庁 - A processing liquid is supplied to the surface of a transported substrate from a plurality of spray nozzles 32 provided above a substrate transporting line and arranged in a substrate transporting direction and in a sheet width direction perpendicular thereto.
基板搬送ラインの上方に設けられ基板の搬送方向及びこれに直角な板幅方向に配列された多数個のスプレーノズル３２から、搬送基板の表面に処理液を供給する。 - 特許庁 - To provide a liquid crystal polyester fiber having further excellent processability in a high-order processing step with little defects and fibrils without fusion among single yarns even when solid-phase polymerization is performed in a package form.
パッケージ形状で固相重合を行っても単糸間融着がなく、更に高次加工工程での加工性に優れる、欠陥およびフィブリルの少ない液晶ポリエステル繊維を提供する。 - 特許庁 - To solve the problem caused by uniformly applying dead time processing for preventing improper counting of an after pulse occurring after a true pulse in a liquid scintillation counter.
液体シンチレーションカウンタにおいて、真のパルスの後に生じるアフターパルスを誤計数しないためのデットタイム処理の実行に当たって、デットタイム処理を一律に適用することによる問題を解決する。 - 特許庁 - The microbubble generation section 71 generates microbubbles containing nitrogen gas supplied from the gas supply section 70 in the color development processing liquid reserved in the color development tank 55a.
マイクロバブル発生部７１は、発色現像槽５５ａにおいて貯留されている発色現像処理液中に、ガス供給部７０から供給される窒素ガスを含むマイクロバブルを発生させる。 - 特許庁 - The correction signals from the circuit 50 are added to inputted video signals in an adding means 51, a signal processing is conducted for an AC driving and the signals are supplied to a liquid crystal panel section 10.
入力映像信号に対して前記補正回路５０からの補正信号を加算手段５１にて加算した後、交流駆動のための信号処理等を行って液晶パネル部１０に供給する。 - 特許庁 - When the buffer pointer becomes a maximal value, signal detection & bit extraction processing is performed and when bit data are buffered for 1 byte, an image in a display buffer 47 is transferred to a liquid crystal display 44 and displayed thereon.
そして、バッファポインタが最大値になると、信号検出＆ビット取り出し処理を行い、ビットデータが１バイトバッファリングされると、表示バッファ４７の画像を液晶ディスプレイ４４に転送し表示する。 - 特許庁 - For example, a region where the amount of application of the processing liquid is changed on the medium by accompanying changing of a conveying speed of the medium, is specified, to correct the amount of hitting of the ink hitting head 37 to the region.
例えば、媒体の搬送速度の変動に伴い媒体上で処理液の付与量が変化する領域を特定し、その領域に対するインク打滴ヘッド３７の打滴量を補正する。 - 特許庁 - Thus, since the optically biaxial orientation non-liquid crystalline polymer film is manufactured without performing extension/contraction processing, a variation in slow axis can be suppressed, so that the axial accuracy is improved.
この製造方法により、延伸や収縮を行わずに光学的二軸性の配向非液晶性ポリマーフィルムが製造されるので、遅相軸のばらつきを抑制でき、従って、軸精度が良好になる。 - 特許庁 - In the liquid processing apparatus 10, the multiple nozzle support arms 82p to 82u are provided, and the nozzle support arms 82p, 82r, 82t are positioned at a height different from the nozzle support arms 82q, 82s, 82u.
液処理装置１０において、ノズル支持アーム８２ｐ〜８２ｕは複数設けられており、ノズル支持アーム８２ｐ、８２ｒ、８２ｔはノズル支持アーム８２ｑ、８２ｓ、８２ｕと高さレベルが異なるようになっている。 - 特許庁 - To provide a λ/4 plate which is excellent in surface processing suitability and polarizer durability and has excellent optical characteristics such as retardation property and reverse wavelength dispersibility and a manufacturing method thereof, and to provide a polarizing plate, a liquid crystal display device, and a stereoscopic image display device having the λ/4 plate.
表面加工適性及び偏光子耐久性に優れ、かつ位相差性、逆波長分散性等の光学特性に優れたλ／４板とその製造方法を提供する。 - 特許庁 - The method for producing the flowing shortening is characterized in that the method comprises a step for dissolving the combination in the liquid oil, and does not require a quenching processing step because of the before step.
液状油脂に上記の組合せたものを溶解する工程を有すること、当該工程により急冷加工の工程を必要としないことを特徴とする流動状ショートニングの製造方法。 - 特許庁 - A central processor 9 performs channel selecting processing or input switching processing on the basis of the instruction of a channel selecting operation or an input switching operation from the outside, and performs control to cause a video image processor 5 to display a frame image just before a liquid crystal panel 7 performs the channel selecting operation or the input switching operation until the channel selecting processing or the input switching processing is completed.
中央制御部９により外部からの選局操作又は入力切替操作の指示に基づき、選局処理又は入力切替処理が行われるとともに、選局処理又は入力切替処理が完了するまでの間、映像処理部５に対し液晶パネル７によってたとえば選局操作又は入力切替操作が行われる直前のフレーム画像が表示されるような制御が行われるようにする。 - 特許庁 - The inspection device includes an imaging means with a plurality of pixels arranged in the same direction as a direction where liquid flows in a passage, an image storing means for storing a plurality of pieces of image information photographed by the imaging means at predetermined time intervals, and an image processing means for detecting the head position of liquid by image-processing image information stored in the image storing means.
液体が流路を流れる方向と同じ方向に複数の画素が配置されたセンサを備えた撮像手段と、撮像手段が所定の時間間隔で撮影した複数の画像情報を記憶する画像記憶手段と、画像記憶手段に記憶されている画像情報に画像処理を行って液体の先頭位置を検出する画像処理手段と、を有することを特徴とする検査装置。 - 特許庁 - The processing method for the radioactive waste liquid containing phosphate ester includes an oxidative decomposition processing process of adding a solution containing copper salt capable of producing copper ions or copper ions produced from copper salt and hydrogen peroxide to the radioactive waste liquid, and oxidatively decomposing the phosphate ester within a temperature range of 20-60°C in the presence of the copper ions produced from the copper salt.
本発明の放射性廃液の処理方法は、リン酸エステルを含む放射性廃液の処理方法であって、前記放射性廃液に、銅イオンを生成し得る銅塩または銅塩から生成した銅イオンを含む溶液と過酸化水素とを添加し、前記銅塩から生成した銅イオンの存在下、２０〜６０℃の温度範囲で、前記リン酸エステルを酸化分解する酸化分解処理工程を含むことを特徴とする。 - 特許庁 - A portable telephone set comprises a thin and nearly flat plate type radio communication module 3 which can display only the radio communication processing function based upon a specific communication system by itself, a thin and a nearly flat plate type common body module 2 which has operation buttons, a liquid crystal display panel, a speaker, and a microphone and which performs general processing function as a telephone set except the radio communication processing.
携帯電話機は、所定の通信方式に従った無線通信処理機能のみを単体で発揮しうる薄型略平板形状の無線通信モジュール３と、操作ボタン、液晶表示パネル、スピーカ、マイクが配設され、無線通信処理以外の電話機としての機能処理全般を行う薄型略平板形状の共通本体モジュール２とで構成される。 - 特許庁 - The cell culture substrate is produced by immersing the natural organic polymer in a graft processing liquid comprising a surfactant aqueous solution and a monomer containing fluorine, an aqueous solution containing a phosphoric monoester, methacrylamide and 2-hydroxyethyl methacrylate or an organic solvent solution of a dibasic acid anhydride or epoxy compound and performing graft processing or chemical modification processing in the presence of a polymerization initiator.
界面活性剤水溶液とフッ素を含むモノマーとからなるグラフト加工液、リン酸モノエステル、メタクリルアミド、及びメタクリル酸２−ヒドロキシルエチルを含む水溶液、又は二塩基酸無水物若しくはエポキシ化合物の有機溶媒溶液中に、上記天然有機高分子を浸漬し、重合開始剤の存在下にグラフト加工或いは化学修飾加工し、細胞培養基材を製造する。 - 特許庁 - To provide a device capable of improving the uniformity of processing quality on the whole main surface of a substrate by uniforming the temperature of processing liquid in a storage tank within the tank, and reducing the unevenness of processing speed within the substrate surface, even if a film formed on the substrate has an uneven thickness or is differed in film quality from site to site on the substrate.
貯留槽内の処理液の温度を槽内で一様にし、また、基板上に形成された膜の厚みが不均一であったり基板上の部位によって膜質の違いがあったりしても、基板面内における処理速度の不均一を緩和することでき、基板の主面全体における処理品質の均一性を向上させることができる装置を提供する。 - 特許庁 - A control section 71 moves a plurality of substrates W to a processing position using a lifter 31, and processes the substrates W with a processing liquid supplied to the processing tank 1 via a supply/exhaust pipe 7.
制御部７１は、リフタ３１により複数枚の基板Ｗを処理位置に移動させ、供給・排気管７を介して処理槽１内に供給された処理液で複数枚の基板Ｗを処理した後、オートカバー２３の各供給孔６７からイソプロピルアルコールの蒸気を供給させるとともに、排出管５７を介して処理液を排出させ、第１真空ポンプ１９により処理槽１内を排気させる。 - 特許庁 - To provide an additive composition for a color development processing liquid for a silver halide color photosensitive material having oxidative deterioration resistance and having high stability without varying the developability of a silver halide color photosensitive material after development processing, and also to provide a method for processing a silver halide color photosensitive material having excellent oxidative deterioration resistance.
本発明の目的は、現像処理後のハロゲン化銀カラー写真感光材料の現像性を変動させることなく、酸化劣化耐性に優れ、安定性の高いハロゲン化銀カラー写真感光材料用の発色現像処理液用添加剤組成物を提供することであり、また、酸化劣化耐性に優れたハロゲン化銀カラー写真感光材料の処理方法を提供することにある。 - 特許庁 - This grinding-cutting liquid is a cooling liquid for machining supplied to a part to be processed for cooling or removing chips at cutting or grinding processing of a metal material, which is water or an aqueous solution subjected to a reforming treatment so as to have reducing property in alkalinity to water by a method other than electrolysis.
この発明は、金属材の切削又は研削加工に際し、冷却や切屑の除去のために加工部に供給される機械加工用の冷却液であって、該冷却液が水を電気分解以外の方法によりアルカリ性で還元性を備えるように改質処理された水又は水溶液である。 - 特許庁 - To provide a liquid crystal display device that has made the largeness of a visual angle to be chageable, if necessary, only by signal processing and has made possible to secretly hide the display contents or optimize the visible direction, etc., without using the means such as a special liquid crystal cell for visual angle control, optical lens seat control, and optical characteristic variation of a back-light.
特別な視野角制御用の液晶セル、光学的なレンズシート制御やバックライトの光学特性変更等の手段を用いずに、信号処理のみにより視野角の広狭を適宜変更し、表示内容の秘匿あるいは視認方向の最適化等を図ることを可能にした液晶表示装置を提供する。 - 特許庁 - A substrate processing apparatus includes a spin chuck horizontally holding a substrate W without contacting with an upper surface and a lower surface of the substrate W, a process liquid supply mechanism supplying the process liquid to the upper surface and the lower surface of the substrate W held by the spin chuck, and an annular member 4 enclosing the substrate W held by the spin chuck.
基板処理装置は、基板Ｗの上面および下面に非接触で当該基板Ｗを水平に保持するスピンチャックと、スピンチャックに保持された基板Ｗの上面および下面に処理液を供給する処理液供給機構と、スピンチャックに保持された基板Ｗを取り囲む環状部材４とを備えている。 - 特許庁 - To provide a PET bottle containing liquid and a can containing liquid for displaying many information items without interfering with the display of original information such as a trade mark described on the ceiling of a cap or the character of a promotion seal, and for extremely reducing the load of processing for the reading of the information and the management of merchandise.
キャップの天面に記された商標やプロモーションシールの文字などの本来の情報の表示を邪魔することなく、多くの情報を表示することができ、それらの情報の読み取り及び商品の管理のための処理の負担を極力低減することができる液体入りペットボトルおよび缶の提供。 - 特許庁 - The boiling time of immersion liquid type materials 51b of such as beans can be drastically reduced by cooking the material with the processing of causing cytoclasis with the repeated slow freezing and thawing of the immersion liquid materials 51b after the immersion of the dry matters such as dried beans at a predetermined temperature and for a predetermined time reducing the long immersing time.
乾燥豆などの浸漬を一定の適温適時間で行い長時間の浸漬時間を短縮させ、浸漬後に浸漬液素材５１ｂを緩慢凍結と融解を繰り返し行なうことによる細胞破壊を起こさせる処理をすることで、豆などの浸漬液素材５１ｂを煮る時間を大幅に短縮することを目的とする。 - 特許庁 - The receiving coil 16 receives electric power from a transmitting coil of a power supply device for the card by the electromagnetic induction, and converts it to a stable voltage that is suitably supplied to the liquid crystal display 11, the liquid crystal driver 12, the memory 14, and the image signal processing part/DAC 15 by the detection circuit 17 and the power supply circuit 18.
受信コイル１６は、カード用電源装置の送信コイルから電磁誘導により電力を受け取り、検波回路１７，電源回路１８により液晶ディスプレイ１１，液晶ドライバ１２，メモリ１４，映像信号処理部／ＤＡＣ１５に適した安定した電圧に返還して供給する。 - 特許庁 - In the liquid applicator 1 for applying the application liquid to hairs to be applied by a brush integrally molded on a core part, the brush is slanted in an axial direction of the core part by integrally molding the brush with the core part or in the axial direction of the core part by thermal processing after integrally molding the brush with the core part.
基幹部に一体に成形されたブラシによって塗布対象毛に塗布液を塗布する液塗布具１において，ブラシを、基幹部と一体に成形することにより基幹部軸方向に傾斜させ、または前記基幹部と一体に成形した後熱加工により基幹部軸方向に傾斜させている。 - 特許庁 - This processing equipment for froth comprises a froth drainpipe 17 connected to a froth out let 15d of a tightly closed pressure type floatater 15, a reducer 17b reducing pipe diameter connected in the halfway of the froth drainpipe 17 and a cyclone separator 19 receiving a gas 23 and a liquid 24 separated at the out let of the reducer 17b into the gas and the liquid.
密閉加圧型フローテータ１５のフロス流出口１５ｄに接続されるフロス流出管１７と、フロス流出管１７の途中に接続された管径を縮小するレデューサ１７ｂと、レデューサ１７ｂ出口で気液に分離した気体２３と液体２４を受け入れるサイクロンセパレータ１９とからなる。 - 特許庁 - A cellular phone set 3 is provided with a content-processing part 164 which processes the content obtained from a content server so that a liquid crystal TV set of a transferring destination can reproduce the content in a mode designated by an original content, and the cellular phone set 3 transfers the processed content to the liquid crystal TV set through an infrared communication part 162.
携帯電話機３は、コンテンツサーバから取得したコンテンツを、転送先の液晶テレビが元のコンテンツによって指定された形態でコンテンツ再生を行うことができるように加工するコンテンツ加工部１６４を備え、加工されたコンテンツを赤外線通信部１６２を介して液晶テレビへ転送する。 - 特許庁 - To prevent display quality from lowering even when displacement in assembling substrates or mispositional in alignment or the like occurs, while maintaining high resistance to pressure applied to a display screen of a liquid crystal device, in a liquid crystal device having spacers formed by a photolithography processing and so on and colored layers constituting color filters.
フォトリソグラフィ処理等によって形成されるスペーサ及びカラーフィルタを構成する着色層を有する液晶装置に関して、この液晶装置の表示画面が押圧されるときの耐圧を高く維持しつつ、基板の組み合わせズレや、アライメント時の位置ズレ等が発生する場合でも表示品質が低下するのを防止する。 - 特許庁 - In addition, in the liquid crystal television 100, solder plating processing is performed on an area with which the LVDS cable of the relay substrate comes in contact and the LVDS cable 80 is held by the relay substrate 30 and a frame 42 attached to the rear surface of the liquid crystal panel 40 in order to reduce the spurious radiation of the LVDS cable 80.
また、液晶テレビジョン１００では、ＬＶＤＳケーブル８０の不要輻射を低減するため、中継基板のＬＶＤＳケーブルが接触する領域を半田メッキ処理するとともに、中継基板３０と液晶パネル４０の背面に取り付けられたフレーム４２とでＬＶＤＳケーブル８０を狭持する。 - 特許庁 - A relay board 30 includes a connector 31 connected to a connector 334 of a liquid crystal control board 20, a connector 32 connected to a connector 61 of an LCD 114a, a frame interpolation section 371 processing an image interpolation on image data from the liquid crystal control board 20, and an image ROM 373 for storing image data.
中継基板３０は、液晶制御基板２０のコネクタ３３４と接続するコネクタ３１と、ＬＣＤ１１４ａのコネクタ６１と接続するコネクタ３２と、液晶制御基板２０からの画像データについて画像補間の処理を行うフレーム補間部３７１と、画像データを格納する画像用ＲＯＭ３７３と、を備えている。 - 特許庁 - The lithographic printing plate precursor is dipped in the liquid developer, an image recording layer of the lithographic printing plate precursor is developed, and simultaneously protection processing for forming a surface protective film is performed, and a polarizing rubber roller is used as a development squeeze roller for squeezing the liquid developer adhering to the developed lithographic printing plate precursor.
平版印刷版原版を現像液に浸漬させ、平版印刷版原版の画像記録層を現像処理するとともに表面保護膜を形成する保護処理を同時に行い、現像処理された平版印刷版原版に付着した現像液を絞る現像絞りローラとして極性ゴムローラを用いる。 - 特許庁 - The method comprises a step of processing irregularities and a movable part of a semiconductor device with a liquid, substituting the liquid with pure water, substituting the pure water with a solvent, involving a sublimable substance in the solvent, evaporating the solvent to deposit the sublimable substance on the semiconductor device surface, and sublimating the sublimable substance to remove it.
半導体装置の凹凸部や可動部を液体処理し、この液体を純水で置換した後、純水を溶剤で置換し、この溶剤中に昇華性物質を含ませ、溶剤を蒸発して半導体装置の表面に昇華性物質を析出せしめ、この昇華性物質を昇華により除去することからなる。 - 特許庁 - The ultrasonic instrumentation 10 for a processing device using ultrasonic sets a vibrator 31 assembled with a piezoelectric element in liquid, generates the ultrasonic wave 30 in the liquid by emitting high frequency with a specific frequency in the piezoelectric element, and processes the member to be processed by washing and the like with the generated ultrasonic wave 30.
超音波計測器１０は、圧電素子を組み込んだ振動子３１を液中にセットし、圧電素子に所定の周波数の高周波を流して液中に超音波３０を発生させ、発生した超音波３０で被加工部材に洗浄等の加工を施す超音波を利用する加工装置向けの計測器である。 - 特許庁 - This greening polymer is produced by mixing a liquid state plasticizer and a liquid state stabilizer, then mixing with a mixture of emulsified powder, a filler, an ultraviolet light-absorbing agent and a fire prevention agent, agitating under a normal temperature to form a paste state product, baking the paste state product in a furnace at a processing temperature of approximately 170°C to produce a solid state greening polymer.
液状の可塑剤と液状の安定剤を混合後、乳化粉、フィラー、紫外線吸収剤及び防火剤の混合物と混合し、常温下で攪拌し、ペースト状製品を形成し、該ペースト状製品を炉で摂氏約１７０度の加工温度でベークし、固体の環境保護ポリマーを製造する。 - 特許庁 - The process includes: a preparation step of slurring a rubber, municipal sludge, and food-processing wastes; a first reaction step of generating a solid and a liquid; a step of separating the resultant reaction product; and a second reaction step of converting the liquid product into the carbon solids and a hydrocarbon mixture containing fuel gas and oil.
ゴム、都市下水汚泥、食品加工廃棄物などをスラリー化する前処理工程、固体および液体を生成する第１の反応工程、その反応生成物を分離する工程、そして液体生成物を炭素固体、燃料ガスおよび油を含む炭化水素混合物へと変換する第２の反応工程と装置とからなる。 - 特許庁 - The substrate processing method includes enhancing liquid repellency of a surface of a substrate having a photosensitive film to a liquid by bringing the surface of the substrate into contact with plasma produced with a process gas; and exposing the substrate by irradiating, with exposure light, at least a portion of the surface of the substrate that is brought into contact with the plasma.
基板処理方法は、感光膜を含む基板の表面をプロセスガスより生成されたプラズマと接触させて、基板の表面の液体に対する撥液性を高めることと、プラズマと接触した基板の表面の少なくとも一部に液体を介して露光光を照射して、基板を露光することと、を含む。 - 特許庁
- 特許庁
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