Plasma Control Systemとは 意味・読み方・使い方

BEVELING PROCESSING PROGRAM, CONTROL SYSTEM, AND PLASMA CUTTING DEVICE例文帳に追加

開先加工用プログラム、制御システム及びプラズマ切断装置 - 特許庁

DEVICE FOR CONTROLLING PLASMA PROCESSING DEVICE SYSTEM, METHOD OF CONTROLLING PLASMA PROCESSING SYSTEM, AND STORAGE MEDIUM STORING CONTROL PROGRAM例文帳に追加

プラズマ処理装置システムの制御装置、プラズマ処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 - 特許庁

To provide a method and a system that adjust and control uniformity, in plasma in a plasma processing system.例文帳に追加

プラズマ処理システム内のプラズマの均一性を調整・制御する方法及びシステムを提供する。 - 特許庁

CONTROL METHOD OF PLASMA ETCHING PROCESS DEVICE AND TRIMMING AMOUNT CONTROL SYSTEM例文帳に追加

プラズマエッチング処理装置の制御方法およびトリミング量制御システム - 特許庁

GROOVING METHOD, CONTROL PROGRAM, COMPUTATION PROGRAM, CONTROL SYSTEM, AND PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加

開先加工方法、制御プログラム、演算プログラム、制御システム及びプラズマ加工装置 - 特許庁

AUTO-BIAS CONTROL SYSTEM, AUTO-BIAS CONTROL METHOD, AND PLASMA PROCESSING METHOD例文帳に追加

自己バイアス制御システム、自己バイアス制御方法及びプラズマ処理方法 - 特許庁

To provide a plasma process system and a plasma control method by which generation and preservation of a plasma can be stably and efficiently performed and the process uniformity using the plasma can be improved.例文帳に追加

プラズマの生成・維持を安定的かつ効率的に行うとともに、プラズマを用いた処理の均一性を向上させることが可能なプラズマプロセス装置およびプラズマ制御方法を提供する。 - 特許庁

To provide a system which can precisely control the nitrogen energy during a plasma nitriding operation.例文帳に追加

プラズマ窒化中の窒素エネルギーの精密な制御を可能とするシステムの提供。 - 特許庁