plasma contaminantとは 意味・読み方・使い方

If plasma stream is blown to the tube surface after the polishing and finishing processes, the attached contaminant of organic series substance is decomposed and removed.例文帳に追加

研磨、仕上げ処理後にプラズマ流を管面に吹き付けると、管面に付着していた有機系の汚染物が分解され、そして除去される。 - 特許庁

To prevent damage to a component of a lithography apparatus, in particular, a mirror located nearby a plasma source due to contaminant particles.例文帳に追加

汚染粒子によるリソグラフィ装置の部品とりわけプラズマ源の近傍に位置するミラーへの損傷を防ぐ。 - 特許庁

This method has characteristics wherein the probe is installed in a plasma generation device, and the probe is irradiated with plasma with a gas pressure of 30-100 Pa, a plasma output of 10-20W, and an irradiation time of 10-30 min. at the plasma irradiation time, to thereby remove the adhering contaminant on the tip and the side face of the probe.例文帳に追加

本発明は、プラズマ発生装置内にプローブを設置し、プラズマ照射時のガス圧３０〜１００Ｐａ、プラズマ出力１０〜２０Ｗ、照射時間１０〜３０分で該プローブにプラズマを照射して、該プローブ先端と側面の付着汚染物質を除去することに特徴がある。 - 特許庁

To efficiently discharge charge particles of ion or the like discharged from plasma by magnetic field operation, and to suppress second-order creation of contaminant, in extreme ultraviolet optical source equipment of a laser generation plasma system.例文帳に追加

レーザ生成プラズマ方式の極端紫外光源装置において、磁場の作用によりプラズマから放出されるイオン等の荷電粒子を効率的に排出すると共に、汚染物質の２次的な発生を抑制する。 - 特許庁

Although debris arising from generation of the high-temperature plasma forms a contaminant layer on the light-reflecting surface of the condensing reflecting mirror 4, in order to completely remove this, a cleaning gas constituent material is attached to the top surface of the condensing reflecting mirror, before the contaminant layer is formed.例文帳に追加

高温プラズマの生成により生ずるデブリが集光反射鏡４の光反射面上に汚染物質層を形成するが、これを完全に除去するため、本発明においては汚染物質層が形成される前に、集光反射鏡の表面にクリーニングガス構成物質を付着させておく。 - 特許庁

Radicalized oxygen in the plasma reacts chemically with a contaminant attached to a printed-circuit board P in the magazine 11 to clean the printed-circuit board P.例文帳に追加

このプラズマ中のラジカル化された酸素がマガジン１１内のプリント基板Ｐに付着している汚染物質と化学反応を起こしてプリント基板Ｐを洗浄する。 - 特許庁

A DC biasing source is connected to the electrodes to create an electric field oriented to deflect out of the beam path contaminant particles that have been negatively charged by the plasma.例文帳に追加

ＤＣバイアス源が電極に接続されて、プラズマによって負帯電された汚染物質粒子をビーム経路外に偏向させるように向けられた電界を発生させる。 - 特許庁

When the tube surface of a cathode-ray tube 1 on the side with its panel part is to be washed, a finishing process is conducted upon a polishing process of the tube surface, and thereafter the tube surface is washed by decomposing and removing the attached organic contaminant with a plasma stream.例文帳に追加

陰極線管１のパネル部側の管面を洗浄するに当たり、管面を研磨処理したのち、仕上げ処理を行い、その後プラズマ流によって管面に付着した有機系汚染物を分解・除去して上記管面を洗浄する。 - 特許庁