plasma confinementとは 意味・読み方・使い方

To provide a method and a device for enhancing plasma radiation confinement by the magnetic control of radiation distribution of plasma and impedance confinement.例文帳に追加

プラズマの放射分布の磁気コントロール、インピーダンス閉じ込めによってプラズマの放射閉じ込めを増強する方法および装置の提供。 - 特許庁

PLASMA CONFINEMENT RING ASSEMBLY HAVING REDUCED POLYMER DEPOSITION CHARACTERISTICS例文帳に追加

低減されたポリマー堆積特性を有するプラズマ閉じ込めリング組立体 - 特許庁

PLASMA CONFINEMENT BAFFLE AND FLOW EQUALIZER FOR ENHANCED MAGNETIC CONTROL OF PLASMA RADIATION DISTRIBUTION例文帳に追加

プラズマ放射分布の磁気コントロール増強のためのプラズマ閉じ込めバッフルおよび流量平衡器 - 特許庁

At least one confinement ring is provided, and the confinement ring and the substrate support define a plasma space.例文帳に追加

少なくとも１つの閉じ込めリングが提供され、前記閉じ込めリングおよび前記基板支持部はプラズマ空間を定義する。 - 特許庁

Plasma confinement rings for plasma process chambers are adapted to reach sufficiently high temperatures on plasma-exposed surfaces of the rings.例文帳に追加

プラズマプロセスチャンバ用プラズマ閉じ込めリングのプラズマ曝露面の上で十分に高い温度に達するようになされる。 - 特許庁

To substantially reduce polymer deposition onto plasma-exposed surfaces of plasma confinement rings for plasma process chambers.例文帳に追加

プラズマプロセスチャンバ用プラズマ閉じ込めリングのプラズマ曝露面の上へのポリマーの堆積を大幅に低減する。 - 特許庁

During plasma etching treatment, heat is supplied to the plasma confinement rings 14, 16, 18 and 20 by the plasma and other heating effects.例文帳に追加

プラズマエッチング処理中に、プラズマおよび他の加熱効果によって、プラズマ閉じ込めリング１４、１６、１８および２０に熱が供給される。 - 特許庁

To provide a plasma confinement ring assembly configured so that the planes of a plasma confinement ring exposed to plasma reaches a sufficiently high temperature in order to avoid polymer deposition on these planes.例文帳に追加

プラズマ閉じ込めリングのプラズマに露出する面上のポリマー堆積を回避するために、これらの面上が十分な高温に達するように構成されたプラズマ閉じ込めリング組立体を提供する。 - 特許庁