porous silicon layerとは 意味・読み方・使い方

A three-layer structure wherein a porous silicon layer is used as a high-resistance layer and is made to work as a gettering layer is comprised of a silicon thin-film, porous silicon and a silicon substrate, and it is used as a false SOI substrate.例文帳に追加

多孔質シリコン層を、高抵抗層とみなし、更にはゲッタリング層として機能させたシリコン薄膜／多孔質シリコン／シリコン基板からなる３層構造体を、擬似的なＳＯＩ基板として利用する。 - 特許庁

A light emitting device is manufactured of a silicon substrate 2 which has a porous silicon layer 3 on the surface.例文帳に追加

発光器を、上面に多孔性シリコン（３）の層を有するシリコン基板（２）から製造する。 - 特許庁

The clad layer is formed by forming a region of porous silicon on the silicon substrate.例文帳に追加

このクラッド層は、シリコン製基板に多孔質シリコンの領域を形成することにより形成される。 - 特許庁

A porous silicon layer is formed by applying a positive electrode conversion treatment on the silicon substrate.例文帳に追加

前記シリコン基板に対し陽極化成処理を施すことによりポーラスシリコン層を形成する。 - 特許庁

After forming a polycrystalline silicon layer 3 on top of an n-type silicon substrate 1 which constitutes a conductive substrate, a porous polycrystalline silicon layer 4 containing polycrystalline silicon grains and silicon microcrystal is formed by anodic oxidization process transforming the polycrystalline silicon layer 3 into a porous layer.例文帳に追加

導電性基板を構成するｎ形シリコン基板１上に多結晶シリコン層３を形成した後、陽極酸化処理工程にて多結晶シリコン層３を多孔質化して多結晶シリコンのグレインおよびシリコン微結晶を含む多孔質多結晶シリコン層４を形成する。 - 特許庁

MULTILAYER STRUCTURE WAFER HAVING THICK SACRIFICIAL LAYER USING POROUS SILICON OR POROUS SILICON OXIDE, AND MANUFACTURE OF THE WAFER例文帳に追加

多孔質シリコンまたは多孔質酸化シリコンを用いた厚い犠牲層を有する多層構造ウェーハ及びその製造方法 - 特許庁

A porous layer is partially formed in a silicon substrate, and a silicon layer is formed on that substrate, and the formation of a porous layer in that silicon layer is repeated to manufacture the three dimensional porous structure having a plurality of porous regions having different three dimensional structures respectively.例文帳に追加

シリコン基板中に部分的に多孔質層を形成し、その基板上にシリコン層を形成し、そのシリコン層に多孔質層を形成することを繰り返すことによって三次元構造の異なる複数の多孔質領域を有する三次元多孔質構造体を作製する。 - 特許庁

The porous silicon layer has at least two different porosities, and it is preferable that the porous silicon layer formed on the side of the silicon substrate is highly porous and that formed on the side of the silicon thin film is less porous.例文帳に追加

前記多孔質シリコン層が、少なくとも異なる２つの多孔度を有する多孔質シリコン層であり、前記シリコン基板側に形成された多孔質シリコン層が高多孔性であり、シリコン薄膜側が低多孔性であることが好ましい。 - 特許庁