従来のハエなどの虫類を捕虫する装置が大量の処理ができず、又薬害等もあった点を改善する。例文帳に追加

To improve the problem that a conventional apparatus for catching insects such as a fly cannot handle insects in large quantities and also causes chemical damage or the like. - 特許庁

ウェハの仕上げ厚が１００μｍ以下というような超薄型であっても、ウェハエッジの欠けやクラックを生じることなくウェハを薄くできるウェハ研磨方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a method of polishing wafer by which a wafer can be thinned without chipping or cracking the edge of the wafer even when the wafer is polished to an ultra-thin wafer having a finished thickness of ≤100 μm. - 特許庁

ウエーハをリテーナリング内の定められた位置に安定して保持し、研磨中であってもウエーハがその位置を変えることがなく、ウエーハエッジ部近傍の研磨形状の制御性や安定性を向上させることのできる研磨装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a polishing device capable of stably holding a wafer at a position specified in a retainer ring and improving controllability and stability of a polishing shape in the neighborhood of a wafer edge part without changing the position of the wafer even during the polishing. - 特許庁

オリエンテーションフラット付きウェーハを加熱する熱処理装置内に設けられた環状のウェーハ支持体であって、該ウェーハの該オリエンテーションフラット部以外のウェーハエッジ部分を支持する環状の支持棚部と該オリエンテーションフラット部を下方から空隙を介して覆う被覆棚部とを備えるようにした。例文帳に追加

An annular wafer support provided in heat treatment equipment for heating a wafer with orientation flat comprises an annular supporting shelf section for supporting the edge part of the wafer other than the orientation flat part, and a covering shelf section for covering the orientation flat part from below. - 特許庁