ほうしゃせんせいぶつがくの英語

遠紫外線等の活性放射線に感応する酸発生剤として有用で、優れたレジストパターンを可能にするスルホニル構造を有する化合物、それを用いた感放射線性酸発生剤並びに化学増幅型のポジ型およびネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a compound having a sulfonyl structure, giving excellent resist pattern and useful as an acid generating agent sensitive to active radiation such as far ultraviolet radiation, a radiation-sensitive acid generating agent produced by using the compound and a positive-type or negative-type chemical- amplification radiation-sensitive resin composition. - 特許庁

高解像度であり、且つパターン倒れマージンに優れた化学増幅型レジストとして有用なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a positive radiation-sensitive resin composition having high resolution and useful as a chemically amplified resist excellent in a margin for pattern collapse. - 特許庁

化学増幅型レジストとして、特にパターン形状に優れ、かつ感度、解像度等にも優れた放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation sensitive resin composition excellent particularly in pattern shape as a chemical amplification type resist and excellent also in sensitivity, resolution, etc. - 特許庁

化学増幅型ポジ型レジスト膜を成膜することができる感放射線性樹脂組成物及びスルホニウム塩を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition and a sulfonium salt capable of forming a chemically amplified positive resist film. - 特許庁

化学増幅型ポジ型レジスト膜の成膜に好適に用いることができる感放射線性組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive composition suitable for use in the formation of a chemically amplified positive resist film. - 特許庁

ドライエッチング耐性が優れ且つＬＷＲが小さい化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition useful for a chemically amplified resist with excellent dry etching resistance and a low LWR. - 特許庁

解像力等の諸機能に優れた化学増幅型の感放射線性ポジ型レジスト組成物を提供すること。例文帳に追加

To provide a chemical amplification type radiation sensitive positive type resist composition excellent in various functions such as resolving power. - 特許庁

化学増幅型ポジ型レジスト膜の成膜に好適に用いることができる感放射線性組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive composition that can be suitably used in the formation of a chemically amplified positive resist film. - 特許庁