ガス供給系の英語

ＮＨ_３ガス供給系９は，反応管１内へＮＨ_３ガスを流す。例文帳に追加

An NH_3 supply system 9 makes an NH_3 gas to flow into the pipe 1. - 特許庁

各フッ素ガス供給系１００ａは、フッ素ガス発生装置５０を含む。例文帳に追加

Each fluorine gas supply system 100a includes a fluorine gas generation device 50. - 特許庁

ジシランガス供給後、処理室内に塩素系ガスを供給する（ステップ１０４）。例文帳に追加

After supplying the disilane gas, chlorine-based gas is supplied into the treatment chamber (step 104). - 特許庁

ガスタービン燃焼器の燃料供給系統およびガスタービン燃焼器の燃料供給方法例文帳に追加

SYSTEM FOR SUPPLYING FUEL OF GAS TURBINE COMBUSTOR AND METHOD FOR SUPPLYING FUEL OF GAS TURBINE COMBUSTOR - 特許庁

処理ガス供給系６０によって処理ガスを被処理物９に供給する。例文帳に追加

A treatment gas supply system 60 supplies a treatment gas to the object 9 to be treated. - 特許庁

２重燃料焚きガスタービン燃料供給系例文帳に追加

DOUBLE FUEL COMBUSTION GAS TURBINE FUEL SUPPLY SYSTEM - 特許庁

ガスタービンの第３段バケット用の冷媒供給系例文帳に追加

COOLANT SUPPLY SYSTEM FOR THIRD STAGE BUCKET FOR GAS TURBINE - 特許庁

その防爆ガスを燃料系統機器１２に供給する。例文帳に追加

The explosion-proof gas is supplied to a fuel system apparatus 12. - 特許庁