クラスタイオン生成の英語

クラスタイオンビーム１０８を生成するクラスタイオン源１０２を使用して加工物１１２を処理する。例文帳に追加

A processed object 112 is treated by using a cluster ion source 102 which generates cluster ion beams 108. - 特許庁

高強度でかつ安定した高融点クラスタイオン等を効率的に生成することができる、安価でかつ小型のイオン発生装置を提供する。例文帳に追加

To provide a low cost and compact ion generator which can produce efficiently high intensity and stable high meeting point cluster ions or the like. - 特許庁

次に、ガラス基板の表面に、ガスクラスタイオンを照射することによりガラスを劣化させた脆性層、又は柔軟な物質で表面を被覆した被覆層からなる緩衝層を生成する。例文帳に追加

Next, a buffer layer including a brittle layer in which the glass is deteriorated by irradiating a gas cluster ion or a coating layer whose surface is coated with a soft substance is formed on the surface of the glass substrate. - 特許庁

予め位置合わせされたノズル/スキマーモジュール(20)は、ガスクラスタイオンビーム(GCIB)の生成をより正確に制御するため、内部で予め位置合わせされたノズル集合体(30)及び内部で予め位置合わせされたスキマーカートリッジ集合体(35)を有する。例文帳に追加

A pre-aligned nozzle/skimmer module (20) includes an internal pre-aligned nozzle assembly (30) and an internal pre-aligned skimmer cartridge assembly (35) to more accurately control the formation of the Gas Cluster Ion Beam (GCIB). - 特許庁