部品リサイクル、マテリアルリサイクルおよびサーマルリサイクルに区分して回収する流れ作業方法を採用して作業を行うことで、解体効率、部品回収率の向上、環境への有害物の排出を許容レベル以下とし、さらに設備費の抑制を図る。例文帳に追加

To improve overhauling efficiency and a part recovery rate, restrain exhausting of harmful matters to environment under allowable level and suppress cost of equipment by adopting assembly line method divided into part recycling, material recycling and thermal recycling. - 特許庁

露光光源からの露光光により照明光学系を介してレチクル、マスク等の原板を照明し、前記原板に形成されたパターンをウエハ、プレート等の基板上に露光する露光装置であって、ステージ空間に少なくとも１個づつの給気ポートと排気ポートを備え、その空間内の気流分布を制御する。例文帳に追加

The aligner exposes a pattern formed in a negative plate on a substrate, such as a wafer and a plate, while irradiating the negative plate, such as a reticle and a mask via a lighting optical system by exposing light from an exposure light source, including at least respectively one air supply port and one exhaust port in the stage space so as to control air current distribution in the space. - 特許庁