ハイポリマーの英語

ハイポリマーの生成を抑制し、環状ポリカーボネートオリゴマーを簡易かつ高収率に製造する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a simple method for producing a cyclic polycarbonate oligomer in a high yield controlling formation of high polymer. - 特許庁

従来技術の難点を解消し、半導体の製造において使用されるレジスト用ポリマーにおいて、ロット間差、反応器差、スケール差が小さく、且つ、ハイポリマーを含まず、溶解性及び保存安定性に優れ、微細なパターン形成に好適なレジスト用ポリマーと、その製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a resist polymer excellent in dissolvability and storage stability, not including high polymers and suited to form fine patterns, and to provide a method for producing the polymer for a resist to be used in manufacturing semiconductors where fluctuations between lots, reactors or production scales are minimized by solving difficulties in conventional technologies. - 特許庁

本発明のレジスト用ポリマーは、少なくとも、酸によって分解してアルカリ現像液に可溶となる構造を有する繰り返し単位と、半導体基板に対する密着性を高めるための極性基とを有する繰り返し単位を有するレジスト用ポリマーであって、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定される分子量分布において、分子量１０万以上の高分子量成分（ハイポリマー）のピーク面積が、全体のピーク面積に対して０．１％以下であることを特徴とするものである。例文帳に追加

This resist polymer has at least repeating units comprising a structure which is decomposed by an acid to become dissolvable in an alkali developer and repeating units comprising a polar group for enhancing close stickiness to a semiconductor substrate, and the peak area of its high polymer component having ≥100,000 molecular weight is ≤0.1% to the total peak area in the molecular weight distribution measured by gel permeation chromatography (GPC). - 特許庁