フォトリソグラフイの英語

真空紫外領域の光線を利用するフォトリソグラフイープロセスにおいて充分な反射防止効果を有し、かつ現像プロセスにおいても充分な現像特性を有するレジスト積層体を形成する。例文帳に追加

To form a resist laminate having a satisfactory antireflection effect in a photolithography process using light in a vacuum ultraviolet region, and also having satisfactory development properties in a development process. - 特許庁

紫外線フォトリソグラフイで使用できる広い角度範囲にわたって比較的フラットなアポダイゼーション関数をもつビームスプリッタが実現される。例文帳に追加

To realize a beam splitter having a comparatively flat apodization function over a wide angle range, which can be used in ultraviolet photolithography. - 特許庁

フォトリソグラフイー等の煩雑な製造工程を経ずに作成でき、より容易に且つ安価に作製及び使用できるＤＮＡマイクロアレイ等の反応チップを提供する。例文帳に追加

To provide a reaction chip such as a DNA micro-array or the like capable of producing without performing a complicated manufacturing process such as a photolithography or the like, and manufacturing and using easily at a low cost. - 特許庁