内減圧術の英語

ウエハーカセット又は基板が搬入された状態で、ロードロック室内の減圧又は雰囲気を迅速に置換できる技術を提供すること。例文帳に追加

To provide a technology which can quickly replace the decreased pressure or atmosphere in a load lock chamber in a state that a wafer cassette or a substrate is charged. - 特許庁

減圧弁の開閉に要する遅延に起因して、コモンレール内部の圧力値が目標圧力値をオーバーシュートしたり、アンダーシュートするのを防止可能な技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technique capable of preventing a pressure value inside a common rail from overshooting or undershooting a target pressure value due to delay required for opening/closing of a pressure reducing valve. - 特許庁

減圧下で処理を行う成膜装置又は結晶成長装置のクリーニング方法に係り、処理室から真空ポンプによりガスを吸気する吸気配管内のクリーニングを良好に行うようにしたクリーニング方法に関する技術である。例文帳に追加

To provide a technique concerning a method for successfully cleaning the inside of an air suction pipe that sucks gas from a processing chamber by use of a vacuum pump, with respect to a cleaning method for a film forming device or a crystal growing device carrying out a process under a reduced pressure. - 特許庁