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加熱ストップの英語
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腐食性ガス雰囲気下で使用した場合にも、パーティクル汚染が発生したり、付属品の腐食等に起因して電流の供給がストップすることがなく、安定的に半導体ウエハ等の被加熱物を加熱することができるホットプレートユニットを提供すること。例文帳に追加
To provide a hot plate unit in which particle contamination does not occur, supply of current cannot stop, which is originated from corrosion of accessories, and can heat an object such as the semiconductor wafer, or the like, steady, when it is used in a corrosive gas atmosphere. - 特許庁
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