可変形ビームの英語

ビーム形状を可変にできる荷電粒子線投影リソグラフィ例文帳に追加

CHARGED PARTICLE BEAM PROJECTION LITHOGRAPHY WITH VARIABLE BEAM SHAPE - 特許庁

可変成形ビームを用いる電子ビーム描画装置において、可変成形ビームの電流量を計測するための複数の電子ビーム検出器１３０、１３１を有し、可変成形ビームの複数のビームサイズに応じて計測された電流値を、電子ビームの露光時間にフィードバックすることにより解決する。例文帳に追加

The electron beam lithography system using a variably shaped beam is equipped with electron beam detectors 130 and 131 used for measuring the amount of current of the variable shaped beam, and the current values measured corresponding to the beam sizes of the variably shaped beam are fed back to the exposure time of an electron beam so as to solve the problem. - 特許庁

直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、ビーム照射装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法本発明は、直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、及びビーム照射装置、並びにビーム成形装置を用いた欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法に関する。例文帳に追加

LINEAR DRIVE DEVICE, VARIABLE SHUTTER DEVICE, BEAM FORMING DEVICE, BEAM IRRADIATION DEVICE, DEFECT CORRECTION METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING PATTERN SUBSTRATE - 特許庁

高いスループットで三角形と矩形の電子ビームを自由に成形できる可変面積型電子ビーム描画装置を実現するにある。例文帳に追加

To realize a variable area electron beam lithography system capable of freely forming triangular and rectangular electron beams with high throughput. - 特許庁

適正な成形ゲインが容易に求められる可変成形荷電ビームの調整方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a variable molding charged beam adjusting method, with which a proper molding gain can be easily determined. - 特許庁

直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、ビーム照射装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法例文帳に追加

LINEARLY DRIVING DEVICE, VARIABLE SHUTTER DEVICE, BEAM SHAPING DEVICE, BEAM IRRADIATING DEVICE, DEFECT CORRECTION METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING PATTERN SUBSTRATE - 特許庁

Ｘ線ビーム２０１がファンビーム形状を有しているため、容器２０８の位置を可変すると、ＣＴ画像の倍率を変更することができる。例文帳に追加

Since an X-ray beam 201 has a fan beam shape, when the position of the container 208 is made changeable, the scale factor of a CT image can be changed. - 特許庁

可変成形荷電ビームの調整方法、フォトマスクの製造方法およびプログラム例文帳に追加

VARIABLE MOLDING CHARGED BEAM ADJUSTING METHOD, PHOTOMASK MANUFACTURING METHOD AND PROGRAM - 特許庁