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布処理補助装置の英語
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このレジスト塗布装置において、長尺型のレジストノズル12は、塗布処理中に主レジストポンプ22および補助レジストポンプ24より主レジスト管26を介して圧送されてくるレジスト液をスリット上の吐出口よりレジスト液をステージ10上の基板Gに向けて吐出する。例文帳に追加
In a resist application device, a long-sized resist nozzle 12 ejects a resist liquid from an ejection port above a slit toward a substrate G on a stage 10, the resist liquid being force-fed from a main resist pump 22 and an auxiliary resist pump 24 through a main resist pipe 26 during the application processing. - 特許庁
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ancillary devices for treatment of material
機械工学英和和英辞典
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