消極作用の英語

そして、サセプタ１２近傍のプラズマ密度分布を径方向で任意に制御するために、コンデンサ付きのフローティングコイル７０が、ＲＦアンテナ５４の発生するＲＦ磁界ひいてはチャンバ１０内で生成されるドーナツ状のプラズマのプラズマ密度分布に対して消極的な作用もしくは積極的な作用を奏する。例文帳に追加

In order to radially and arbitrarily control the plasma density distribution near the susceptor 12, a floating coil 70 with a capacitor exhibits a passive effect or a positive effect on an RF magnetic field generated by the RF antenna 54, and consequently, on the plasma density distribution of the doughnut-shaped plasma generated in a chamber 10. - 特許庁