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界浸型静電レンズの英語
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英訳・英語 immersion electrostatic lens
「界浸型静電レンズ」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
単極磁界型レンズ4と、静電界浸レンズ3から構成される複合レンズであり、静電界浸レンズのウェハに対向する電極は磁性材で構成され、該電極とウェハには負の高電圧が印加される。例文帳に追加
This device is a complex lens having a single pole magnetic field type lens 4 and an electrostatic lens 3, and electrode of tbe electrostatic lens 3 opposing to a wafer is made from a magnetic material, and a negative high voltage is applied to the electrode and the wafer. - 特許庁
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