膜板部の英語

基板周縁部膜除去装置及び基板周縁部膜の除去方法例文帳に追加

APPARATUS AND METHOD FOR REMOVING CIRCUMFERENTIAL EDGE FILM OF SUBSTRATE - 特許庁

保護膜成膜後、その基板部品、即ち基板モジュールをアニールする。例文帳に追加

After the film deposition of the protective film, its substrate component, that is a substrate module, is annealed. - 特許庁

成膜室１３は、パッタ法によって基板に酸化膜であるＳｉＯ_2膜を成膜するＳｉＯ_2膜成膜部１３ａとイオンプレーティング法によって基板にＩＴＯ膜を成膜するＩＴＯ膜成膜部１３ｂとから構成される。例文帳に追加

The deposition chamber 13 comprises a deposition chamber 13a where an SiO_2 film is deposited on the substrate by sputtering and an ITO film deposition chamber 13b where an ITO film is deposited on the substrate by an ion plating method. - 特許庁

Ｓｉ（１００）基板表面に薄膜センサ部を形成し、基板両面に絶縁膜を成膜する。例文帳に追加

A thin film sensor part is formed on the top surface of an Si (100) substrate and insulating films are formed on both the surfaces of the substrate. - 特許庁

成膜装置用部材、成膜装置、成膜方法および成膜された磁気ヘッド用基板例文帳に追加

MEMBER FOR FILM FORMING DEVICE, FILM FORMING DEVICE, FILM FORMATION AND FILM-FORMED SUBSTRATE FOR MAGNETIC HEAD - 特許庁

薄膜電子部品用セラミック基板及びこれを用いた薄膜電子部品例文帳に追加

CERAMIC SUBSTRATE FOR THIN FILM ELECTRONIC COMPONENT AND THIN FILM ELECTRONIC COMPONENT USING THIS - 特許庁

薄膜電子部品および積層薄膜電子部品並びに基板例文帳に追加

THIN FILM ELECTRONIC PART, LAMINATED THIN FILM ELECTRONIC PART, AND SUBSTRATE - 特許庁

反射板６は、平板状部を有する薄膜部材で構成される。例文帳に追加

The reflection plate 6 is constituted of the thin film member having a planar part. - 特許庁