蒸着重合の英語

半導体製造装置において、蒸着重合室に蒸着重合する際のウエハーの表面を冷却するための手段を設ける。例文帳に追加

In a semiconductor manufacturing apparatus, an evaporation- polymerizing chamber is provided with a means for cooling the surface of a wafer in the evaporation-polymerization. - 特許庁

アセチレン基を含む有機化合物、その蒸着重合法、その蒸着重合薄膜及びその薄膜を使用した電気発光素子例文帳に追加

ACETYLENE GROUP-CONTAINING ORGANIC COMPOUND, METHOD FOR VACUUM DEPOSITION POLYMERIZATION THEREOF, VACUUM DEPOSITION-POLYMERIZED THIN FILM THEREFROM AND ELECTROLUMINESCENT ELEMENT USING THE THIN FILM - 特許庁

バッファ層２６は、蒸着重合によるポリ尿素膜からなる。例文帳に追加

The buffer layer 26 comprises a polyurea film obtained by vapor deposition polymerization. - 特許庁

真空蒸着重合装置及びこれを用いた有機被膜の形成方法例文帳に追加

VACUUM DEPOSITION POLYMERIZATION SYSTEM AND METHOD FOR DEPOSITING ORGANIC FILM USING THE SYSTEM - 特許庁

蒸着重合高分子膜被覆体の表面親水化方法例文帳に追加

SURFACE HYDROPHILIZATION METHOD FOR VAPOR PHASE DEPOSITION POLYMERIZATION POLYMER MEMBRANE-COVERED BODY - 特許庁

かかる装置を用いて、該蒸着重合室内で基板上に該原料モノマーを蒸着重合せしめて層間絶縁膜を形成した後に、該蒸着重合室の内壁面に付着した前記膜を酸素プラズマでクリーニングする。例文帳に追加

Using such an apparatus after the raw material monomers A, B are evaporation- polymerized on a substrate in the evaporation-polymerizing chamber 3, the film deposited to the inner wall of the evaporation-polymerizing chamber 3 is cleaned with the oxygen plasma. - 特許庁

半導体製造装置において、蒸着重合用原料モノマーの蒸発源を備える蒸着重合室へ導入される該モノマーの導入量を制御するために、気体流量コントローラーを該蒸着重合室と該モノマー蒸発源との間に設ける。例文帳に追加

In this semiconductor manufacturing apparatus, gas flow rate controllers 11A, 11B are provided between an evaporation-polymerizing chamber 3, and monomer evaporation sources for controlling the feed rates of raw material monomers A, B are provided for the evaporation-polymerization into the evaporation-polymerizing chamber 3 which has evaporation sources of the raw material monomers A, B. - 特許庁

蒸着重合の原料モノマーとしては、フッ素を含む置換基を有するモノマーを用いる。例文帳に追加

As the raw material monomer for vapor deposition polymerization, monomer having substituent containing fluorine is used. - 特許庁