開放汚染源の英語

有機化合物を保持する互いに種類の異なる複数個の蒸着源の内の一個、または二個を同時に開放することを可能とすると共に、複数個の蒸着源の相互間での汚染の発生を防止した真空蒸着装置を提供する。例文帳に追加

To provide a vacuum vapor deposition apparatus with which one or two of a plurality of mutually different kinds of vapor deposition sources each holding an organic compound can be simultaneously opened and mutual contamination between the plurality of mutually different kinds of vapor deposition sources can be prevented. - 特許庁

基板と当該基板を覆う容器とで気密雰囲気を形成し、当該気密雰囲気下にて基板に所定の処理を施す基板処理方法において、容器を開放したときの大気からの汚染を低減し、真空排気の時間の短縮を図り、もって電子源等の製造時間を短縮する。例文帳に追加

To reduce contamination from the atmosphere when opening a container, shorten time of vacuum exhaust, and accordingly shorten a manufacturing time of an electron source or the like, in a substrate processing method to form an air-tight atmosphere with a substrate and the container covering the substrate, and to apply a prescribed processing to the substrate in the air-tight atmosphere. - 特許庁

汚染空気を吸引するファンフィルターユニットの筐体上面に物品を載せる受皿を設置し、受皿周囲より空気を上方から水平方向の受皿中央にかけて吸引する多孔板吸込み口を設け、吸引される空気の流れにより受皿上の収納保管部の物品から出る汚染源の浮遊微粒子や浮遊微生物の流出を抑制し、開放状態で物品を隔離された収納保管部に保管できるようにするとともに、筐体下面に移動手段としてのキャスターを設けた。例文帳に追加

Besides, a caster as a moving means is furnished on the underside of the casing. - 特許庁