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電子流伝送効率の英語
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英訳・英語 electron stream transmission efficiency
「電子流伝送効率」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 2件
電子ビーム描画装置において、微弱なビーム電流を高精度に計測する際、長い伝送経路に重畳するノイズの影響を低減し、また、マルチビーム描画装置において、微弱なビーム電流を高精度に効率よく計測する技術を提供する。例文帳に追加
To reduce affection of noise overlaying a long transmitting path when measuring a feeble beam current in high precision in an electron beam drawing apparatus, and to provide technique to efficiently measure the feeble beam current in high precision in a multiple beam drawing apparatus. - 特許庁
電子ビーム描画装置において、微弱なビーム電流を高精度に計測する際、長い伝送経路に重畳するノイズの影響を低減し、また、マルチビーム描画装置において、微弱なビーム電流を高精度に効率よく計測する技術を提供する。例文帳に追加
To reduce influence of noise superimposed on a long transmission path, when highly precisely measuring a feeble beam current, in an electron beam drawing device, and to provide technology to highly precisely and efficiently measure the feeble current in a multiple beam drawing apparatus. - 特許庁
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