Alc13とは 意味・読み方・使い方

In the method of producing a thin film where AlCl3 and H2O as source materials are alternatingly fed to a substrate to deposit an Al2O3 thin film, the feeding time of AlC13 in the first cycle in the feeding cycles is made longer than the feeding time of AlC13 in the cycles on and after the second time.例文帳に追加

原料物質であるＡｌＣｌ３とＨ２Ｏとを基板に対して交互に供給することによりＡｌ２Ｏ３薄膜を形成する薄膜の製造方法において、供給サイクルのうち１回目のサイクルにおけるＡｌＣｌ３の供給時間を、２回目以降のサイクルにおけるＡｌＣｌ３の供給時間よりも長くする。 - 特許庁