Bulk micromachiningとは 意味・読み方・使い方

A high quality is given to the mirror because the MEMS element 201 is manufactured by the bulk micromachining.例文帳に追加

バルクマイクロマシニングでＭＥＭＳ素子２０１を作成できるのでミラーを高品質にできる。 - 特許庁

To obtain a microelectronic mechanical system (MEMS) element in which the quality of a mirror and the freedom for the designing of a mirror driving are enhanced by using the technology of a bulk micromachining or the like, and to obtain an optical device using the MEMS element.例文帳に追加

バルクマイクロマシニング等の技術を使用して、ミラーの品質およびミラーの駆動についての設計の自由度を高めたＭＥＭＳ素子およびＭＥＭＳ素子を使用した光デバイスを得る。 - 特許庁

To simplify a packaging structure of a semiconductor device having a MEMS sensor and an LSI circuit as well as achieving both downsizing and thickness reduction and sensitivity improvement of the semiconductor device that has the MEMS sensor formed by bulk micromachining technique such as an acceleration sensor and an angular rate sensor, and the LSI circuit.例文帳に追加

加速度センサや角速度センサのようにバルクマイクロマシニング技術により形成したＭＥＭＳセンサとＬＳＩ回路からなる半導体装置の小型化や薄型化と、高感度化を両立しつつ、ＭＥＭＳセンサとＬＳＩ回路からなる半導体装置の実装構造を簡易化する。 - 特許庁