Cassette Tableとは 意味・読み方・使い方

In this table, the surface of a placement table 2 for cassette on which a cassette 1 is placed is covered with a covering layer 5 made of Teflon (R).例文帳に追加

本発明のカセット用載置テーブルは、カセット１が載るカセット用載置テーブル２の表面にテフロンよりなる被覆層５を設けている。 - 特許庁

A sensor support arm 13 is moved up and down relative to the cassette C placed on a cassette placement table 1.例文帳に追加

カセット載置台１に載置されたカセットＣに対して、センサ支持アーム１３が相対的に上下動する。 - 特許庁

When a semiconductor wafer is taken out of the wafer cassette 18 or stored in the wafer cassette 18, the wafer table 15 retracts from the position of the wafer cassette 18 and the cassette elevator 19 elevates the wafer cassette 18 above the wafer table 15.例文帳に追加

一方、ウェハカセット１８から半導体ウェハを取り出すか又はウェハカセット１８に半導体ウェハを収納する時には、ウェハテーブル１５はウェハカセット１８の位置から退避し、カセットエレベータ１９はウェハカセット１８をウェハテーブル１５よりも上に上昇させる。 - 特許庁

To provide a cassette table on which a cassette containing a wafer is put, related to a semiconductor manufacturing equipment.例文帳に追加

半導体製造設備において、ウェーハを入れたカセットが置かれるカセットテーブルを提供することを目的とする。 - 特許庁

Necessary information is adequately obtained from a cassette accommodation table and a scrutiny table of a storage unit to output the cassette accommodation state based on accommodation information stored in the cassette accommodation table, the cassette accommodation state based on scrutiny information stored in the scrutiny table, and the result of determination from the comparison of accommodation information with scrutiny information.例文帳に追加

記憶部のカセット収納テーブル及び精査テーブルから適宜必要な情報を得て、カセット収納テーブルに記憶した収納情報に基づいたカセットの収納状態と、精査テーブルに記憶した精査情報に基づいたカセットの収納状態と、収納情報と精査情報とを比較した判定結果とを出力する。 - 特許庁

A cassette table 41a for mounting a cassette 43a which contains a plurality of wafers to be objects of the main measurement and a cassette table 41b for mounting a cassette 43b which contains a plurality of wafers to be objects of interrupt measurement are outside the X-ray protection cover 2.例文帳に追加

主測定の対象である複数のウエハを収容したカセット４３ａを載せるカセット台４１ａと、割込み測定の対象である複数のウエハを収容したカセット４３ｂを載せるカセット台４１ｂとが防Ｘ線カバー２の外側にある。 - 特許庁

A wafer cassette 18 is disposed within the horizontal movement range 21 of a wafer table 15.例文帳に追加

ウェハカセット１８は、ウェハテーブル１５の水平方向の移動範囲２１内に配置されている。 - 特許庁

This cassette table comprises a top plate, a cassette supporting part that is provided on the top plate to support the cassette containing a wafer, and a discharge means that discharges static electricity charged on the cassette.例文帳に追加

本発明よるカセットテーブルは、トッププレートと、前記トッププレート上に設けられかつウェーハを入れた前記カセットを支持するカセット支持部と、前記カセットに帯電された静電気を放出するための放電手段を備える。 - 特許庁