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ILLUMINATION GEOMETRYとは 意味・読み方・使い方
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「ILLUMINATION GEOMETRY」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 3件
METHOD OF EVALUATING LIGHT SOURCE OF EXPOSURE APPARATUS, METHOD OF DESIGNING ILLUMINATION GEOMETRY OF EXPOSURE APPARATUS, AND SOFTWARE FOR OPTIMIZING ILLUMINATION GEOMETRY OF EXPOSURE APPARATUS例文帳に追加
露光装置の光源評価方法、露光装置の照明形状設計方法、及び露光装置の照明形状最適化ソフトウェア - 特許庁
To provide a method of evaluating a light source capable of designing illumination geometry which is robust against an error in an illumination aperture.例文帳に追加
照明絞りの誤差に対してロバストな照明形状を設計できる光源の評価方法を提供すること。 - 特許庁
Then, intensity distribution is calculated based on the geometry characteristics and illumination mode characteristics and mask pattern data of a pattern feature 154.例文帳に追加
次に、パターンフィーチャのジオメトリ特徴及び照明モード特徴及びマスクパターンデータに基づき、強度分布が計算される１５４。 - 特許庁
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