Megasonic Cleaning Equipmentとは 意味・読み方・使い方

MEGASONIC CLEANING EQUIPMENT例文帳に追加

メガソニック洗浄装置 - 特許庁

The megasonic cleaning equipment comprises a piezoelectric converter 110 generating megasonic energy, and an energy transmitting means 120 fixed in the radial direction with respect to a wafer, and stirring cleaning liquid on the wafer 130 by transmitting energy generated from the piezoelectric converter 110 thereto.例文帳に追加

本発明はメガソニックエネルギーを発生させる圧電変換器１１０、及びウェーハに対し半径方向に取り付けられ、圧電変換器１１０から発生したエネルギーをウェーハ１３０上の洗浄液に伝達して撹拌させるエネルギー伝達手段１２０を含む。 - 特許庁

To provide megasonic cleaning equipment employed in the manufacturing of a semiconductor element where contaminant particles can be removed efficiently from the surface of a wafer while preventing pattern lifting.例文帳に追加

パターンリフティングを防ぎながらウェーハの表面から汚染粒子を効率的に除去できる半導体素子の製造に用いられるメガソニック洗浄装置を提供する。 - 特許庁