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Other etching equipmentとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 2件
The related invention (Claim 2) is the gas phase etching medium by sputtering. It does not correspond to the "equipment," but it falls under "other products" directly used in working the process for fabrication of the specified invention (Claim 1).発音を聞く 例文帳に追加
（請求項２）は、スパッタリングによるエッチングを行うためのガス状エッチング媒体であり、特定発明（請求項１）の基板の製造方法の実施に直接使用する「装置類」には該当しないが、「その他の物」に該当する。 - 特許庁
To provide plasma etching equipment which ensures good surface planarity when a magnetic metal thin film or other thin film unstable for plasma and a substrate are etched.例文帳に追加
磁性金属薄膜その他プラズマに対して不安定な薄膜及び基板をエッチングする際に、表面平坦性良くエッチングすることができるプラズマエッチング装置を提供する。 - 特許庁
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