Project Alignerとは 意味・読み方・使い方

Also the aligner, being an aligner having an optical system containing a diffraction optical element such as a BO element to project the original plate pattern illuminated with light from the light source on the substrate, is characterized by having the diffraction optical element.例文帳に追加

また、本発明の露光装置は、光源からの光で照明した原版のパターンを基板上に投影するため、ＢＯ素子のような回析光学素子を含む光学系を有する露光装置において、本発明の回折光学素子を有することを特徴とする。 - 特許庁

This illuminance-measuring device measures the illuminance of illumination light on an image-forming surface of the projection optical system of an aligner for allowing the image of a pattern from a lighted mask to project on a substrate that is retained on a substrate stage by the projection optical system.例文帳に追加

照明されたマスクからのパターンの像を、基板ステージ上に保持される基板上に投影光学系により投射するようにした露光装置の該投影光学系の結像面における照明光の照度を計測する照度計測装置である。 - 特許庁