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RCA cleanとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 半導体製造におけるRCA洗浄とは、シリコンウェハーの標準的な洗浄方法で、高温プロセス（酸化、拡散、化学気相成長）の前に行われる。
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該当件数 : 1件
To provide a simple method for cleaning an electronic material, such as a silicon substrate for semiconductors or a glass substrate for liquid crystals, that needs to have a highly clean surface to a degree of cleanliness equivalent to that attained by high-concentration chemical cleaning such as RCA cleaning.例文帳に追加
高度に清浄な表面が求められる半導体用シリコン基板、液晶用ガラス基板などの電子材料を、ＲＣＡ洗浄などの高濃度薬液洗浄に匹敵する清浄度に洗浄することができる簡便な電子材料の洗浄方法を提供する。 - 特許庁
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