Radical 54とは 意味・読み方・使い方

When the hydrogen radical is supplied, a gate valve 53 is in an open state and the hydrogen radical supplied to a cleaning chamber 54 is supplied to a substrate in a laser irradiation chamber 50.例文帳に追加

水素ラジカルが供給される際には、ゲートバルブ５３は、開いた状態であり、クリーニング処理室５４部分に供給された水素ラジカルは、レーザー照射室５０の基板に供給される。 - 特許庁

Wherein, a double voltage rectification circuit for glow starting a light emitting tube with a small inner diameter is added in the electronic ballast, and two electrolytic capacitors disposed in the electronic ballast double voltage rectification circuit portion are arranged in parallel to a radical direction of the cylindrical portion 51 in such a state that portions of the two capacitors can enter the two notch portions 53, 54.例文帳に追加

電子安定器に、管内径が細い発光管を点灯させるための倍電圧整流回路部を設け、倍電圧整流回路部に配される２つの電解コンデンサを、その本体の一部が切欠き部５３、５４に入り込むようして、円筒部５１の径方向に並置させる。 - 特許庁