Radical 49とは 意味・読み方・使い方

In addition, a radical control means 49 for controlling the radical quantity of processing gas is provided between the radical-supplying device 40 and the chamber 31.例文帳に追加

さらに、ラジカル供給装置４０とチャンバ３１との間に処理ガスのラジカル量を制御するラジカル制御手段４９を設ける。 - 特許庁

A negative high voltage is applied to the mist discharge part 49 from a power supply device 56, and the mist including hydroxy radical with strong oxidation action is discharged from the mist discharge part 49.例文帳に追加

ミスト放出部４９には電源装置５６から負の高電圧が印加され、ミスト放出部４９から強い酸化作用のあるヒドロキシラジカルを含むミストが放出される。 - 特許庁

High negative voltage is applied to the mist discharging part 49 from a power supply device 56, and mist containing hydroxyl radical with a strong oxidation effect is discharged from the mist discharging part 49.例文帳に追加

ミスト放出部４９には電源装置５６から負の高電圧が印加され、ミスト放出部４９から強い酸化作用のあるヒドロキシラジカルを含むミストが放出される。 - 特許庁