Scrub Cupとは 意味・読み方・使い方

When the brush is cleaned in each scrub cleaning unit (SCR) 40, a cleaning cup 92 is made empty (no wafer is kept), a main wafer transfer mechanism (PRA) 30 unloads a cleaning disk from one of disk storage units (CLN) and loads it into the scrub cleaning unit (SCR) 40.例文帳に追加

各スクラブ洗浄ユニット（ＳＣＲ）４０においてブラシのクリーニングを実行するときは、洗浄カップ９２を空にしておいて（ウエハＷが無い状態にしておいて）、主ウエハ搬送機構（ＰＲＡ）３０がディスク保管ユニット（ＣＬＮ）のいずれか１つからクリーニング・ディスクを取り出して当該スクラブ洗浄ユニット（ＳＣＲ）４０に搬入する。 - 特許庁

After performing edge trimming of the edge of a protection film attached semiconductor substrate at an inclination angle (θ) of 20-87 degrees by using a polishing tape F, brush scrub washing of the protection film attached semiconductor substrate is performed, and then back surface grinding is performed using a cup wheel grinding wheel thus reducing the thickness of the semiconductor substrate.例文帳に追加

保護フィルム貼付半導体基板のエッジ部を２０〜８７度の傾斜角度（θ）で研磨テープＦを用いてエッジトリミングした後、この保護フィルム貼付半導体基板をブラシスクラブ水洗浄し、しかる後にカップホイール型砥石を用いて裏面研削加工して半導体基板の厚みを減じる。 - 特許庁