Service Vacuum Systemとは 意味・読み方・使い方

VACUUM PUMP SERVICE INFORMATION BUSINESS SYSTEM例文帳に追加

真空ポンプサービス情報事業システム - 特許庁

To provide a vacuum treating system in which the service life of a member of a reaction vessel of the vacuum treating system is prolonged and a safe and secure treatment can be performed with high efficiency.例文帳に追加

真空処理装置の反応容器に用いる部材の寿命を長くし、また、安全確実な処理を可能とすることもでき、その結果、処理効率をより優れたものとされた真空処理装置の提供。 - 特許庁

To provide a vacuum treatment system capable of supplying electric power stably via a sliding part by developing a power introducing mechanism of a novel structure, and to provide the vacuum treatment system with the power introducing mechanism improved in service life.例文帳に追加

本発明は、新規な構造の電力導入機構を開発し、摺動部を介して電力を安定して供給できる真空処理装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a vacuum dry pump with improved service life by preventing the deposition of the products at a place easiest to deposit the product in a vacuum dry pump, improved reliability of operation by protecting an exhaust gas treating device, and capable of reducing the equipment cost and the operation cost by reducing the down time of a vacuum exhaust system, and to provide a trapping method thereof.例文帳に追加

真空ドライポンプの中の最も生成物が析出し易い場所での生成物の析出を防止して、真空ドライポンプの長寿命化、排ガス処理装置の保護により運転の信頼性の向上を図り、さらに真空排気システムのダウンタイムを削減して設備や運転コストの低減を図ることができる真空ドライポンプ及びトラップ方法を提供する。 - 特許庁

To provide a vacuum exhaust system and an operation method therefor capable of reducing a load of a mechanical booster pump to prolong its service life and preventing the generation of noise.例文帳に追加

メカニカルブースタポンプの負荷を軽減して長寿命化を図ることが可能であるとともに騒音の発生を防止することが可能な真空排気システムおよびその運転方法を提供する。 - 特許庁

To provide a sputtering system where the service life of a target is judged by measuring the consumption of the target without breaking a vacuum in the inside of a treatment chamber and where various automatic control can be performed.例文帳に追加

処理室内の真空を破ることなくターゲット消耗量を実測して、ターゲット寿命の判定をするとともに、各種の自動制御をすることができるスパッタリング装置を提供する。 - 特許庁

To provide a stage mechanism system to obtain high-speed, high- acceleration and long-service life static pressure gas guide device, which can be used in high vacuum environment.例文帳に追加

ステージ機構系の高速度化、高加速度化、長寿命化が可能で、高精度が長期間にわたって維持することができ、且つ高真空環境で使用可能な静圧気体案内装置を提供する。 - 特許庁