accelerating forcesとは 意味・読み方・使い方

To prevent deterioration and deformation of a mask due to forces applied to the mask from an exposure apparatus at accelerating, when a mask is moved at high speed for transferring a pattern by exposing with an electron beam.例文帳に追加

電子線露光によるパターン転写を行う場合に、マスクを高速移動すると、加速時に露光装置からマスクに加わる力によってマスクが劣化、変形するため、これを防止する。 - 特許庁

To prevent deterioration and deformation of a mask due to forces applied to the mask from an exposure apparatus at accelerating, when the mask is moved at a high speed for transferring a pattern by an electron beam exposure.例文帳に追加

電子線露光によるパターン転写を行う場合に、マスクを高速移動すると、加速時に露光装置からマスクに加わる力によってマスクが劣化、変形するため、これを防止する。 - 特許庁

When the movable table 12 moves from the first terminal position or the second terminal position to the initial position side, on the other hand, forces applied to the movable table 12 from the first cable protective member 13 or the second cable protective member 14 are unequal, and these forces act as driving force in accelerating the movable table 12 and as braking force in decelerating the movable table 12.例文帳に追加

一方、可動テーブル１２が第一終端位置または第二終端位置から初期位置側へ移動するとき、第一ケーブル保護部材１３または第二ケーブル保護部材１４から可動テーブル１２へ加わる力は不均等になり、これらの力は可動テーブル１２の加速時における推進力、および減速時における制動力として作用する。 - 特許庁