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accessory lobeとは 意味・読み方・使い方
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「accessory lobe」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
To prevent occurrence of a side lobe and occurrence of a resist defect even when an enhancer mask with which both of a fine isolated contact pattern and a dense contact pattern can be simultaneously formed is provided with an accessory pattern or the like comprising a large aperture.例文帳に追加
微細な孤立コンタクトパターン及び密集コンタクトパターンの同時形成が可能なエンハンサマスクに大開口部からなるアクセサリパターン等を設けている場合にも、サイドローブの発生及びレジスト欠陥の発生を同時に防止できるようにする。 - 特許庁
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